[发明专利]半导体静电放电保护装置在审
| 申请号: | 201310628550.3 | 申请日: | 2013-11-29 |
| 公开(公告)号: | CN104681542A | 公开(公告)日: | 2015-06-03 |
| 发明(设计)人: | 陈俞均;王畅资;唐天浩 | 申请(专利权)人: | 联华电子股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/60 | 分类号: | H01L23/60 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
| 地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 半导体 静电 放电 保护装置 | ||
1.一种半导体静电放电保护装置,包括:
第一晶体管具有第一电性,形成于一第二电性阱区之中;
第二电性保护环,围绕该第一晶体管;以及
半导体间隔区,位于该第一晶体管和该第二电性保护环之间,并围绕该第一晶体管,且该半导体间隔区为无掺杂区、第一电性掺杂区或掺杂浓度小于该第二电性阱区的第二电性掺杂区。
2.如权利要求1所述的半导体静电放电保护装置,还包括浅沟隔离结构,位于该第一晶体管和该第二电性保护环之间;其中该半导体间隔区,是位于该浅沟隔离结构下方。
3.如权利要求1所述的半导体静电放电保护装置,还包括浅沟隔离结构,位于该第一晶体管和该第二电性保护环之间;其中该半导体间隔区,是位于该浅沟隔离结构和该第二电性保护环之间。
4.如权利要求1所述的半导体静电放电保护装置,其中该第一电性为N型电性,且该第二电性为P型电性。
5.如权利要求1所述的半导体静电放电保护装置,其中该第一电性为P型电性,且该第二电性为N型电性。
6.如权利要求1所述的半导体静电放电保护装置,其中该第一晶体管包含:
栅极结构,形成于该第二电性阱区之上;
源极,形成于该第二电性阱区之中,且邻接该栅极结构;
漏极,形成于该第二电性阱区之中,且邻接该栅极结构;以及
第二电性高浓度掺杂区,位于该漏极下方的该第二电性阱区之中,并且具有高于该第二电性阱区的一掺杂浓度。
7.如权利要求6所述的半导体静电放电保护装置,还包括基底接触区(body contact),邻接于该第二电性阱区及该第二电性保护环,并与该源极共同接地;且该漏极与一输入/输出垫(I/O pad)电连接。
8.如权利要求1所述的半导体静电放电保护装置,还包括:
第二晶体管,具有该第一电性;以及
第三晶体管,具有该第一电性;
其中,该第一晶体管、该第二晶体管和该第三晶体管具有一共同漏极。
9.如权利要求1所述的半导体静电放电保护装置,还包括:
阱接触区(well pick-up region),形成于该第二电性阱区之中
第二晶体管,具有该第一电性;以及
第三晶体管,具有该第一电性;
其中,该第一晶体管、该第二晶体管和该第三晶体管具有一环状共同源极,围绕该阱接触区。
10.一种半导体静电放电保护装置,包括:
多个第一电性晶体管;
第二电性保护环,围绕该些第一电性晶体管;以及
阱接触区,其中该些第一电性晶体管,围绕该阱接触区。
11.如权利要求10所述的半导体静电放电保护装置,还包括一第一电性保护环,位于该些第一电性晶体管和该第二电性保护环之间,且围绕该些第一电性晶体管。
12.如权利要求10所述的半导体静电放电保护装置,其中每一该些第一电性晶体管包含:
栅极结构,形成于一第二电性阱区之上;
漏极,形成于该第二电性阱区之中,且邻接该栅极结构远离该阱接触区的一侧;以及
源极,形成于该第二电性阱区之中,且邻接该栅极结构靠近该阱接触区的一侧。
13.如权利要求12所述的半导体静电放电保护装置,其中该阱接触区与该源极共同接地,且该漏极与一输入/输出垫电连接。
14.如权利要求12所述的半导体静电放电保护装置,其中每一该些第一电性晶体管还包含一第二电性高浓度掺杂区,位于该漏极下方的该第二电性阱区之中,并且具有高于该第二电性阱区的一掺杂浓度。
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