[发明专利]一种CIGS太阳能电池吸收层的生产设备

权利要求书

1.一种CIGS太阳能电池吸收层的生产设备，包括输送吸收层衬底至腔体内的输送带，其特征在于：四对上、下隔板将腔体分隔成预热段、硒化段和冷却段，预热段内安装有加热装置，硒化段连接有硒蒸气产生装置，硒蒸气产生装置通过喷射装置向移动的衬底喷射硒蒸气，硒化段上安装有温控装置，在硒化段两端的上隔板或下隔板上分别开具有惰性气体进气孔和排气孔，冷却段内设有冷却水套。

2.根据权利要求1所述的生产设备，其特征在于：所述加热装置为红外灯、卤素灯或感应线圈。

3.根据权利要求1所述的生产设备，其特征在于：硒蒸气产生装置包括放置硒源的料桶，料桶内设有将硒源加热成蒸汽的加热丝，料桶的蒸汽出口连通一裂解室，该裂解室内通有惰性气体，惰性气体通过两电极生成等离子带电体，硒蒸汽通过等离子带电体裂解后进入所述喷射装置。

4.根据权利要求1所述的生产设备，其特征在于：所述预热段与硒化段、硒化段与冷却段均呈台梯状，所述进气孔和排气孔分别设置于两台阶面上。

5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于：所述硒化段通过两对上、下挡板分隔为喷涂区、反应区和进气区，上、下挡板之间留有供输送带移动的间隙，喷涂区内安装有所述喷射装置；在喷涂区与反应区之间、反应区和进气区之间的上挡板或下挡板上均设有气体通孔。

6.根据权利要求5所述的生产设备，其特征在于：所述进气孔、通孔、排气孔交错排列。

7.根据权利要求6所述的生产设备，其特征在于：所述进气孔设置于冷却段与硒化段之间的下挡板上。

8.根据权利要求1至7中任意一项所述的生产设备，其特征在于：所述喷射装置包括数个喷嘴，数个喷嘴分布成与输送带运动方向垂直的一列。

9.根据权利要求1至7中任意一项所述的生产设备，其特征在于：所述喷射装置包括一硒蒸气管，该硒蒸气管上开具有至少一排喷射孔，每一排喷射孔与输送带运动方向垂直。