[发明专利]搬送机构

权利要求书

1.一种搬送机构，其通过保持板状工件的外周部的保持部来保持板状工件，并将板状工件搬送到具有保持面的保持工作台上，上述保持面用于保持圆形的板状工件的下表面，

上述搬送机构的特征在于，

上述保持部包括：保持爪，其与板状工件的外周部处的侧面以及下表面接触；引导销，其与上述保持爪并列设置并与板状工件的侧面接触；拉伸弹簧，其沿板状工件的径向朝向中心对上述引导销施加弹力；以及第1滑块，其对通过上述拉伸弹簧而移动的上述引导销进行定向，

上述搬送机构具有：第2滑块，其将上述保持部的移动定向在板状工件的径向上；以及移动部，其使上述保持部沿板状工件的径向移动，

在保持板状工件时，通过上述移动部的工作使至少3个上述保持部沿板状工件的径向朝向中心移动，从而使上述引导销与板状工件的侧面接触，并且使上述保持爪与板状工件的外周部处的侧面以及下表面接触从而保持板状工件，

在释放板状工件时，通过上述移动部的工作使至少3个上述保持部沿板状工件的径向朝向外侧移动，留下上述引导销而使上述保持爪向板状工件的外侧移动，使上述保持爪离开板状工件的外周部，但是通过上述拉伸弹簧的弹力使上述引导销继续与板状工件的侧面接触，从而维持着上述搬送机构保持的板状工件在相对于上述保持面平行的方向的位置，将板状工件搬送至上述保持工作台上后，通过上述移动部的工作使至少3个该保持部沿板状工件的径向朝向外侧移动，从而使该引导销与该保持爪一体地向板状工件的外侧移动，使该引导销离开板状工件的外周部。