[发明专利]一种Cr2O3和Al2O3复合梯度阻氢涂层及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种Cr₂O₃和Al₂O₃复合梯度阻氢涂层，其特征在于：该复合涂层由Cr₂O₃和Al₂O₃组成，包覆在不锈钢上。

2.根据权利要求1所述的Cr₂O₃和Al₂O₃复合梯度阻氢涂层，其特征在于：所述的复合涂层为Cr₂O₃涂层和Al₂O₃涂层交替结构，总层数大于等于4层。

3.根据权利要求2所述的Cr₂O₃和Al₂O₃复合梯度阻氢涂层，其特征在于：所述的复合涂层最内层为Cr₂O₃涂层，最外层为Al₂O₃涂层。

4.根据权利要求3所述的Cr₂O₃和Al₂O₃复合梯度阻氢涂层，其特征在于：所述的复合涂层的厚度为0.1～20μm。

5.根据权利要求1所述的Cr₂O₃和Al₂O₃复合梯度阻氢涂层，其特征在于：所述的不锈钢为奥氏体不锈钢或马氏体不锈钢。

6.权利要求1-5中任一项所述的Cr₂O₃和Al₂O₃复合梯度阻氢涂层的制备方法，其特征在于：该复合涂层采用金属-有机化学气相沉积技术制备。

7.根据权利要求6所述的Cr₂O₃和Al₂O₃复合梯度阻氢涂层的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：

（1）将不锈钢表面抛光至粗糙度为0.1～2μm；

（2）采用金属-有机化学气相沉积技术在不锈钢表面制备Cr₂O₃涂层；工艺参数为：反应源温度为50～200℃；载气流量为40～500ml/min；

（3）采用金属-有机化学气相沉积技术在不锈钢表面制备Al₂O₃涂层，工艺参数为：反应源温度50～200℃；载气流量10～300ml/min；

（4）重复上述步骤（2）和步骤（3），交替制备Cr₂O₃涂层和Al₂O₃涂层；最终获得多层Cr₂O₃/Al₂O₃复合梯度阻氢涂层。

8.权利要求1-5中任一项所述的Cr₂O₃和Al₂O₃复合梯度阻氢涂层在高温真空集热管中的应用。