[发明专利]一种双层复合减反射膜的制备方法

权利要求书

1.一种双层复合减反射膜的制备方法，主要步骤包括：

1)镀第一层膜：采用提拉镀膜的方法将二氧化硅／二氧化钛混合溶胶镀在玻璃表面；

2)烧结：将镀膜后的玻璃在450～550℃的氛围中烧结10～40min；

3)镀第二层膜：采用提拉镀膜法将硅酸盐溶胶镀在烧结后的玻璃表面；

4)酸液浸蚀：将镀有硅酸盐的玻璃浸入一定浓度的酸溶液中浸蚀。

2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤1)混合溶胶由二氧化硅和二氧化钛溶胶按照一定比例混合所得，溶胶中二氧化硅／二氧化钛的摩尔比为1：1～5：1。

3.如权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，二氧化硅溶胶制备方法为：按正硅酸乙酯：乙醇：去离子水：盐酸=1：20～40：3～7：0.08～0.2(摩尔比)的比例混合均匀，室温下搅拌1h，然后陈化3～7d备用；二氧化钛溶胶制备方法为：按钛酸四丁酯：无水乙醇：去离子水：盐酸=1：20～40：1～5：0.08～0.2(摩尔比)的比例混合均匀，室温下搅拌1h，然后陈化3～7d备用。

4.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤1)提拉镀膜时玻璃和混合溶胶的相对速度为10～30cm／min。

5.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤3)所用镀膜液为硅酸盐溶胶，其制备方法为将纳米级硅酸盐分散到去离子水中，浓度wt5～20％，然后高压抽滤。

6.如权利要求1或5所述的制备方法，其特征在于，硅酸盐为硅酸钙、硅酸镁、硅酸钾、硅酸钠中的一种或几种。

7.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤3)提拉镀膜时玻璃和硅酸盐溶胶的相对速度为15～25cm／min。

8.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤，4)浸蚀酸溶液包括硫酸、盐酸、硝酸、磷酸、高氯酸等，酸水溶液浓度大于60％，浸蚀时间10～20s。