[发明专利]一种硅烷气体纯度简易测定方法无效
| 申请号： | 201310585350.4 | 申请日： | 2013-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN103558347A | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 李耀文;耿彩军;刘斌;靳东梅;张增玉;孙佳杰 | 申请（专利权）人： | 李耀文 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100071 北京市丰*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅烷 气体 纯度 简易 测定 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅烷气体纯度简易测定方法，其特征在于：包括如下工艺步骤：
1)，选用医用注射器，吸取封闭液并排除医用注射器内气体，吸取待测气体并读取数值X1；
2)，将吸取后的医用注射器放入氢氧化钠溶液进行反应吸收，待完全反应平衡后，读取此时数值X2；
3)，两数值的差值占所取样品的百分比即为硅烷反应增长的数值；
4)，再将硅烷反应增长的数值与纯硅烷完全反应增长的数值之比即为硅烷的纯度，即计算公式为：纯度W％＝{[(X2-X1)/X1×100％]/300％}×100％。
2.如权利要求1所述的硅烷气体纯度简易测定方法，其特征在于：在步骤1)中，采用球胆取硅烷气体一袋，所述医用注射器从球胆内吸取待测硅烷气体。
3.如权利要求1所述的硅烷气体纯度简易测定方法，其特征在于：在步骤1)中，所述封闭液采用蒸馏水、浓硫酸、5％稀硫酸或者乙醚。
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