[发明专利]沉积源

说明书

技术领域

本发明涉及一种沉积源，尤其涉及一种用于在基板上沉积有机物的沉积源。

背景技术

作为收容沉积材料的容器的沉积源是由当电流通过壁（部件）时温度上升的电阻材料制成。当沉积源被施加电流时，其内部的沉积材料便在来自沉积源壁的辐射热以及与壁接触而获得的传递热的作用下被加热。沉积源的上方部件上形成有用于使汽化的材料蒸汽向外界排出的蒸汽排出开口。

另外，随着基板的大型化，沉积源的大小也将增加。沉积源的大小越大，整个沉积源的温度越难以均匀地形成。如果整个沉积源的温度不均匀，则从沉积源蒸发的有机物量也按区域而不同。由此导致有机物难以在基板上形成均匀厚度的问题。

发明内容

本发明所要解决的技术问题为提供一种可以在主体部件上形成均匀的温度的沉积源。

根据本发明一个实施例的沉积源包括：主体部件，形成为能够使有机物向上侧排出；发热单元，形成于所述主体部件而用于对所述主体部件进行加热。

在一个实施例中，所述发热单元可形成于所述主体部件的表面上。

在一个实施例中，所述主体部件可以形成有内部空间，而所述发热单元可形成于包围所述主体部件的内部空间的所述主体部件的内壁面上。

在一个实施例中，所述发热单元可形成为带状。

在一个实施例中，所述发热单元可包括：第一发热部，形成于所述主体部件的局部；第二发热部，形成于所述主体部件中除了形成有所述第一发热部的部分以外的其余部分。

在一个实施例中，所述第一发热部能以将所述主体部件划分为左侧和右侧的中心为基准而形成于所述主体部件的右侧和左侧中的某一区域，而所述第二发热部可形成于其余区域。

在一个实施例中，所述第一发热部可形成于所述主体部件的中央区域，而所述第二发热部可分别形成于除了所述第一发热部以外的所述主体部件的两侧。

在一个实施例中，所述第二发热部可以比所述第一发热部更密集。

在一个实施例中，可以包括一个向所述第一发热部和第二发热部供应电源的电源部。

根据本发明一个实施例的沉积源借助发热单元而在整个主体部件的温度均匀的状态下实现有机物的汽化，从而可以将有机物以均匀的厚度沉积于基板上。由此可以提高有机物沉积的可靠性。

附图说明

图1为表示根据本发明第一实施例的沉积源的立体图。

图2是在图1所示沉积源中沿着A-A'区域截取的剖面图。

图3为表示图1所示沉积源的侧面图。

图4为表示根据本发明第二实施例的沉积源的立体图。

图5为表示图4所示沉积源中的发热单元的变形例的图。

图6为表示根据本发明第三实施例的沉积源的立体图。

图7a和图7b为在利用根据比较例的沉积源而将有机物沉积于基板的情况下测定的温度偏差和在该温度偏差下沉积于基板上的有机物厚度的曲线图。

图8a和图8b为在利用基于实施例的沉积源而将有机物沉积于基板的情况下测定的温度偏差和在该温度偏差下沉积于基板上的有机物厚度的曲线图。

符号说明：

10：有机物              100、200、300：沉积源

110：主体部件           111：开口部

120、220、320：发热单元 221、321：第一发热部

222、322a、322b：第二发热部

具体实施方式

以下，参照附图对本发明实施例进行详细说明，以使本发明所属技术领域中具有普通知识的人员容易实施。本发明可用多种不同形态实现，并不局限于所说明的实施例。

而且，在各实施例中，具有相同构成的构成要素用同一符号表示，并只在具有代表性的第一实施例中进行说明，而在其余实施例中只对与第一实施例不同的构成进行说明。

为了明确说明本发明而省略与本发明无关的部分，且在整个说明书中，用同一附图标记表示相同或相似的构成要素。

在整个说明书中，所谓某一部分与其他部分“连接”的含义不仅包括“直接连接”的情况，也包括中间隔着其他部件“间接连接”的情况。并且，在没有特别的相反记载时，所谓某一部分包括某个构成要素并不是说排出其他构成要素，而是说还可以包含其他构成要素。

图1为表示根据本发明第一实施例的沉积源的立体图，图2是在图1所示沉积源中沿着A-A'区域截取的剖面图，图3为表示图1所示沉积源的侧面图。

参照图1～图3，沉积源100包括主体部件110和发热单元120。