[发明专利]沉积源在审
| 申请号： | 201310572117.2 | 申请日： | 2013-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN104278236A | 公开（公告）日： | 2015-01-14 |
| 发明（设计）人： | 张熙宣 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 韩明星;刘灿强 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 沉积 | ||
【权利要求书】：
1.一种沉积源，包括：
主体部件，形成为能够使有机物向上侧排出；
发热单元，形成于所述主体部件而用于对所述主体部件进行加热。
2.如权利要求1所述的沉积源，其中，所述发热单元形成于所述主体部件的表面。
3.如权利要求1所述的沉积源，其中，所述主体部件形成有内部空间，而所述发热单元形成于包围所述主体部件的内部空间的所述主体部件的内壁面。
4.如权利要求1所述的沉积源，其中，所述发热单元形成为带状。
5.如权利要求1所述的沉积源，其中，所述发热单元包括：
第一发热部，形成于所述主体部件的局部；
第二发热部，形成于所述主体部件中除了形成有所述第一发热部的部分以外的其余部分。
6.如权利要求5所述的沉积源，其中，所述第一发热部以将所述主体部件划分为左侧和右侧的中心为基准而形成于所述主体部件的右侧和左侧中的某一区域，而所述第二发热部形成于其余区域。
7.如权利要求5所述的沉积源，其中，所述第一发热部形成于所述主体部件的中央区域，而所述第二发热部分别形成于除了所述第一发热部以外的所述主体部件的两侧。
8.如权利要求5所述的沉积源，其中，所述第二发热部比所述第一发热部更密集。
9.如权利要求5所述的沉积源，其中，包括一个向所述第一发热部和第二发热部供应电源的电源部。
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