[发明专利]一种光学检测设备

权利要求书

1.一种光学检测设备，包括检测机台，所述检测机台设置有检测腔体，其特征在于，还包括除尘装置，所述除尘装置设置在所述检测腔体的设备出入口处。

2.如权利要求1所述的光学检测设备，其特征在于，所述除尘装置包括除尘单元、真空管道和负压单元，所述除尘单元设置在所述设备出入口的上方，所述除尘单元的两端与所述真空管道相连，且所述真空管道与所述负压单元的气体出入口相连。

3.如权利要求2所述的光学检测设备，其特征在于，所述除尘单元包括除尘管和除尘口，所述除尘管沿水平方向设置于检测机台壁面上，所述除尘口设置于所述除尘管的外壁上且与所述除尘管连通，所述除尘口面对待检测基板。

4.如权利要求3所述的光学检测设备，其特征在于，所述除尘口为多个，且均匀分布于所述除尘管的外壁，各所述除尘口处还设置有圆盘形或者横截面为V字形的条形吸尘件。

5.如权利要求3所述的光学检测设备，其特征在于，所述除尘管的两端与所述真空管道之间螺接。

6.如权利要求3所述的光学检测设备，其特征在于，所述真空管道包括相互连接的第一管道和第二管道，所述第一管道的第一端与所述除尘管的第一端相连，所述第二管道的第一端与所述除尘管的第二端相连，所述第一管道的第二端和所述第二管道的第二端分别与所述负压单元的出入口相连。

7.如权利要求6所述的光学检测设备，其特征在于，所述第一管道和第二管道均包括垂直段和水平段，两所述垂直段沿垂直方向设置于检测机台壁面内，且分别位于所述除尘管的两侧，两所述水平段沿水平方向设置于检测机台壁面内，且分别与所述负压单元的出入口相相连。

8.如权利要求7所述的光学检测设备，其特征在于，所述检测机台还包括两个支撑板，所述两个支撑板沿垂直方向设置于检测机台上且分别位于检测腔体的设备出入口两侧，所述第一管道和第二管道的垂直段分别设置于所述两个支撑板内部。

9.如权利要求7所述的光学检测设备，其特征在于，所述检测机台下部还设置有底箱，所述负压单元以及所述第一管道和第二管道的水平段均设置于所述底箱中。

10.如权利要求4所述的光学检测设备，其特征在于，所述第一管道的第一端与所述除尘管的第一端通过转接管相连和/或所述第二管道的第一端与所述除尘管的第二端通过转接管相连。

11.如权利要求1所述的光学检测设备，其特征在于，所述检测腔体的设备出入口外侧还设置有机械手臂，用于携带待检测基板通过所述设备出入口进入和移出所述检测腔体。