[发明专利]WAT测试曲线数据的保存方法和装置在审

专利信息
申请号: 201310554560.7 申请日: 2013-11-08
公开(公告)号: CN103645858A 公开(公告)日: 2014-03-19
发明(设计)人: 周波;莫保章;席与凌 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: G06F3/06 分类号: G06F3/06
代理公司: 上海申新律师事务所 31272 代理人: 竺路玲
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: wat 测试 曲线 数据 保存 方法 装置
【说明书】:

技术领域

本发明涉及微电子技术领域,尤其涉及一种WAT测试(Wafer Acceptance Test,晶圆允收测试)曲线数据的保存方法和装置。

背景技术

在WAT测试中经常需要收集很多器件的电性曲线,目前通用的做法是将曲线数据保存在服务器上的一个公用目录,所有WAT测试机台都可以访问,但这样会有数据难以区分的问题。

如果有多个lot(货品)按时间排序来测试同一个测试程序,则测试数据会按顺序写入数据文件中,如果要想把各个lot的测试数据分开,只能计算每个lot测试曲线的条数再手动把数据区分开。如果有多个lot在不同的机台上测试同一个测试程序时,则多个机台就会同时向这个相同路径下的数据文件中写入数据,这样会导致数据文件中的数据无法区分开。

中国专利(公开号:CN101169628A)公开了一种数据保存方法,包括:接收数据后,根据当前文件中该数据对应位号下的记录的情况分配数据块和索引块;将所述数据写入所述数据块,并将对应该数据的索引信息写入所述索引块。该发明还公开了一种数据保存装置。该发明通过采用混合型记录或数据型记录和索引型记录的双重结构模式,当某些位号的数据较少时,则通过一个混合型记录保存所有数据和该数据的索引,当某些位号的数据较多时,则通过数据型记录和索引型记录分别保存数据和索引,对保存结构进行优化,因此无论对于混合型记录还是索引型记录,索引信息均能够高度集中,使得在处理数据量悬殊的位号数据时具有较强的灵活性,且极大提高了数据的检索效率。

中国专利(公开号:CN101909075A)公开了一种系统关键数保存方法及装置。该系统关键数据保存方法包括以下步骤:a.设置日志处理类型参数;b.获取数据来源;c.判断设置的日志处理类型参数,并根据设置的日志处理类型参数对获取的数据进行保存。采用本发明的技术方案以后,可以根据不同的需求调节关键数据的处理方式,在服务器性能和稳定之间达到平衡,另外,在服务器资源允许的情况下可以将日志处理线程调配到其他的物理服务器,以免对现有服务器的其他应用产生影响。

上述两个专利并未解决现有技术中不同WAT测试机台同时测试同一个测试程序时向服务器中同一个数据文件写入数据,并且需要手动地区分WAT测试曲线数据的问题。

发明内容

针对上述存在的问题,本发明公开一种WAT测试曲线数据的保存方法和装置,以克服现有技术中不同WAT测试机台同时测试同一个测试程序时向服务器中同一个数据文件写入数据,并且需要手动地区分WAT测试曲线数据的问题。

为了实现上述目的,本发明采用如下技术方案:

一种WAT测试曲线数据的保存方法,应用于WAT测试机台中,其中,包括如下步骤:

S1,在WAT测试过程中,将得到的测试数据临时保存至所述WAT测试机台本地;

S2,在WAT测试完成后,判断临时保存的测试数据中是否存在曲线数据;

S3,在判定临时保存的测试数据中存在曲线数据时,获取当前时间,并根据所述当前时间在所述WAT测试机台本地创建时间标记数据块,将临时保存的测试数据中的曲线数据复制到所述时间标记数据块中。

上述的WAT测试曲线数据的保存方法,其中,还包括:

S3’,在判定临时保存的测试数据中不存在曲线数据时,清空临时保存的测试数据。

上述的WAT测试曲线数据的保存方法,其中,还包括:

S4,清空临时保存的测试数据。

上述的WAT测试曲线数据的保存方法,其中,在所述步骤S1中,在WAT测试前设置WAT测试程式库,将曲线测试程式保存至所述WAT测试机台本地。

上述的WAT测试曲线数据的保存方法,其中,在所述步骤S1中,在WAT测试开始后,调用所述WAT测试机台本地的曲线测试程式。

一种WAT测试曲线数据的保存装置,应用于WAT测试机台中,其中,包括:

主处理单元,用于在进行WAT测试过程中,将得到的测试数据临时保存至所述WAT测试机台本地的临时存储单元中;

临时存储单元,用于临时保存所述测试数据;

判断单元,用于在WAT测试完成后,判断所述临时存储单元中临时保存的测试数据中是否存在曲线数据;

数据后处理单元,用于在判定所述临时存储单元中临时保存的测试数据中存在曲线数据时,获取当前时间,并根据所述当前时间在所述WAT测试机台本地的主存储单元中创建时间标记数据块,将所述临时存储单元中临时保存的测试数据中的曲线数据复制到所述时间标记数据块中;以及,

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