[发明专利]一种纳米压印工艺的优化方法在审
| 申请号： | 201310552766.6 | 申请日： | 2013-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN103577582A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 王晶 | 申请（专利权）人： | 无锡英普林纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/30 | 分类号： | G06F17/30;G06Q10/04;G06Q50/04 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 成立珍 |
| 地址： | 214192 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 压印 工艺 优化 方法 | ||
技术领域
本发明涉及微加工领域，具体涉及一种纳米压印工艺的优化方法。
背景技术
目前，影响纳米压印的因素有许多，如压印力、压印时间等，但是每个因素对最终的压印结果有什么影响，影响力度多大不能确切的判断；传统的压印工艺中都是通过经验来确定相关参数，但是在不同的实验条件下这些参数不能保持实验结果的一致性，对纳米压印的效率产生影响。
发明内容
发明目的：为了克服现有技术中存在的不足，本发明提供的一种纳米压印工艺的优化方法，采用数理统计的方法，简单易行，能快速确定最佳的纳米压印条件。
技术方案：为解决上述技术问题，本发明的采用的技术方案为，一种纳米压印工艺的优化方法，包括如下步骤：
（1）选取影响纳米压印工艺的因素，每个因素设置相应水平；
（2）在设定的因素条件下进行纳米压印实验，记录实验结果；
（3）利用多因素方差分析方法对实验结果进行分析；
（4）根据分析结果选择最佳水平组合，确定最佳的纳米压印条件。
所述步骤（2）的纳米压印实验包括采用热压印或者紫外压印进行纳米压印。
有益效果：本发明提供的纳米压印工艺的优化方法利用数理统计方法，简单易行，科学精确，能快速确定最佳的纳米压印条件，提高纳米压印的效率。
具体实施方式
实施例1：
一种纳米压印工艺的优化方法，包括如下步骤：
（1）选取压印温度、压印力、压印时间作为要研究的影响纳米压印工艺的因素，每个因素设置3个水平，在设定条件下纳米压印复制后图案结构的平均高度做为测量指标；具体设置如下所示：
进行热压印实验，整理实验数据如下：
利用SPSS对实验数据进行多因素方差分析，得到结果如下：
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