[发明专利]一种纳米压印工艺的优化方法在审
| 申请号： | 201310552766.6 | 申请日： | 2013-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN103577582A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 王晶 | 申请（专利权）人： | 无锡英普林纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/30 | 分类号： | G06F17/30;G06Q10/04;G06Q50/04 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 成立珍 |
| 地址： | 214192 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 压印 工艺 优化 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种纳米压印工艺的优化方法，其特征在于，包括如下步骤：
（1）选取影响纳米压印工艺的因素，每个因素设置相应水平；
（2）在设定的因素条件下进行纳米压印实验，记录实验结果；
（3）利用多因素方差分析方法对实验结果进行分析；
（4）根据分析结果选择最佳水平组合，确定最佳的纳米压印条件。
2.根据权利要求1所述的纳米压印工艺的优化方法，其特征在于：所述步骤（2）的纳米压印实验包括采用热压印或者紫外压印进行纳米压印。
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