[发明专利]自动化物料传输系统

说明书

技术领域

本发明涉及半导体集成电路物料输送机台技术领域，尤其涉及一种用于自动化物料传输系统。

背景技术

随着半导体技术的发展，300mm硅片已经逐步取代200mm硅片成为主流，每盒装载硅片的硅片盒的重量也由原来的约4公斤变成约9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不仅会降低效率，还存在搬运人员人身伤害的可能。同时，半导体制造对于厂房的利用率以及生产周期的要求越来越严苛，自动化物料传输系统（Automated Material Handling Systems，简称AMHS）作为连接各个制造模块之间输送硅片的纽带的重要性也日益凸显出来。

现有的AMHS系统均采用悬挂于天花板上的多条轨道结构与轨道上行驶的OHT输送车，往返于各个机台之间（tool to tool输送模式），或往返于机台与暂存区Stocker之间（走道间系统interbay与走道内系统intrabay）。如图4所示的采用走道间、走道内的输送系统，机台走道每一边的每一台机台10安装有硅片盒堆叠部20（load port），OHT输送车70（overhead hoist transport）能抓起堆叠部20上的硅片盒30，并通过轨道结构60传送至另一台机台10的堆叠部20上。这种硅片盒30在同一走道内的输送过程称为走道内系统110，而硅片盒30在不同走道之间的输送过程则称为走道间系统100。走道内系统110的输送使用OHT输送车70，走道间系统100的输送则是先将硅片盒30以输送车70移至暂存区50中暂时储存，等到需要用到此硅片盒30时，再同样以输送车70搬送到指定机台10处。

如上所述，AMHS系统提供硅片盒的传输与储存自动化服务，但是，现有系统中，OHT输送车每次到达或离开目标机台或暂存区，都需要启动加速或制动减速，耗费不少时间、能源，对轨道和输送车车轮的磨损也不可避免，影响搬送效率和部件使用寿命。

发明内容

本发明的目的在于弥补上述现有技术的不足，提供一种新的用于自动化物料传输系统。

为实现上述目的，本发明提供的自动化物料传输系统，其包括：

多个机台，呈矩阵状布设，每列机台之间形成机台走道，每个机台都具有堆放硅片盒的堆叠部；

轨道结构，包括贯穿于机台走道并相互连通的多条轨道，该多条轨道设于机台矩阵硅片盒堆叠部的上方，每个堆叠部的宽度对应上方的轨道形成存取区间段，每个该存取区间段的两侧各设有一个信号发射器；

至少一辆输送车，悬挂于于轨道结构上并可沿着轨道行进，该输送车具有用于接收该信号发射器发出的信号的信号接收器，且其与输送车的驱动装置信号连接；以及

控制单元，与该机台和输送车信号连接。

本发明所述“硅片盒堆叠部的上方”和“每个堆叠部两个侧面上方”中的“上方”包含但不仅限于正上方，还包括处于较高水平位置的其他位置，如两列堆叠部中间位置的正上方；“存取区间段”是由堆叠部投影到上方轨道而截取的一段轨道区间段，并且该存取区间段与堆叠部的宽度相对应。

进一步地，每个该存取区间段两侧的两个信号发射器信号发射范围不重叠。

进一步地，该信号发射器的信号发射半径为1-30cm。

进一步地，该信号发射器的发射方向为从轨道向上或向下，该输送车在悬挂于轨道时的轨道下方或上方位置处设有信号接收器，以接收信号发射器发出的减速和/或加速指令。

进一步地，该信号发射器设于存取区间段两端以外0-20cm的位置。

进一步地，该信号发射器还与控制单元信号连接，其发出的信号包括识别信息，该输送车还包括信息识别模块，用以对该识别信息进行识别判断。

进一步地，该堆叠部还具有伸缩式的硅片盒存取机构。

进一步地，该存取机构包括可上下前后伸缩的机械臂以及机械臂前端的硅片盒抓取部件。

进一步地，该存取机构与控制单元或机台信号连接。