[发明专利]自动化物料传输系统

权利要求书

1.一种自动化物料传输系统，其特征在于，其包括：

多个机台，呈矩阵状布设，每列机台之间形成机台走道，每个机台都具有堆放硅片盒的堆叠部；

轨道结构，包括贯穿于机台走道并相互连通的多条轨道，该多条轨道设于机台矩阵硅片盒堆叠部的上方，每个堆叠部的宽度对应上方的轨道形成存取区间段，每个该存取区间段的两侧各设有一个信号发射器；

至少一辆输送车，悬挂于于轨道结构上并可沿着轨道行进，该输送车具有用于接收该信号发射器发出的信号的信号接收器，且其与输送车的驱动装置信号连接；以及

控制单元，与该机台和输送车信号连接。

2.根据权利要求1所述的自动化物料传输系统，其特征在于：每个该存取区间段两侧的两个信号发射器信号发射范围不重叠。

3.根据权利要求2所述的自动化物料传输系统，其特征在于：该信号发射器的信号发射半径为1-30cm。

4.根据权利要求2所述的自动化物料传输系统，其特征在于：该信号发射器的发射方向为从轨道向上或向下，该输送车在悬挂于轨道时的轨道下方或上方位置处设有信号接收器，以接收信号发射器发出的减速和/或加速指令。

5.根据权利要求2所述的自动化物料传输系统，其特征在于：该信号发射器设于存取区间段两端以外0-20cm的位置。

6.根据权利要求1至5任一项所述的自动化物料传输系统，其特征在于：该信号发射器还与控制单元信号连接，其发出的信号包括识别信息，该输送车还包括信息识别模块，用以对该识别信息进行识别判断。

7.根据权利要求1至5任一项所述的自动化物料传输系统，其特征在于：该堆叠部还具有伸缩式的硅片盒存取机构。

8.根据权利要求7所述的自动化物料传输系统，其特征在于：该存取机构包括可上下前后伸缩的机械臂以及机械臂前端的硅片盒抓取部件。

9.根据权利要求7所述的自动化物料传输系统，其特征在于：该存取机构与控制单元或机台信号连接。