[发明专利]物品搬送设备

权利要求书

1.一种物品搬送设备，具备以下：

搬送装置，其在第一搬送部位与第二搬送部位之间搬送物品；

在此，作为所述第一搬送部位，设定有低位置第一搬送部位和被设定于比该低位置第一搬送部位更高的位置的高位置第一搬送部位；

作为所述第二搬送部位，设定有低位置第二搬送部位和被设定于比该低位置第二搬送部位更高的位置的高位置第二搬送部位；

作为所述搬送装置，设有：低位置搬送装置，其使载置物品的低位置用载置部沿水平方向移动，在所述低位置第一搬送部位与所述低位置第二搬送部位之间搬送物品；以及高位置搬送装置，其使载置物品的高位置用载置部沿水平方向移动，在所述高位置第一搬送部位与所述高位置第二搬送部位之间搬送物品，

其具有以下特征：

所述高位置用载置部被设置在比所述低位置用载置部中的载置物品的载置面的高度更高且比载置于所述低位置用载置部的物品的上端更低的高度，

所述低位置用载置部中，载置于该低位置用载置部的物品的移动轨迹与所述高位置用载置部的移动轨迹和载置于该高位置用载置部的物品的移动轨迹从上下方向看，具有重复的重复部分和不重复的非重复部分，并且，该重复部分和该非重复部分以沿所述低位置用载置部的移动方向并排的状态设置，

所述高位置用载置部中，该高位置用载置部的移动轨迹和载置于该高位置用载置部的物品的移动轨迹与载置于所述低位置用载置部的物品的移动轨迹从上下方向看，具有重复的重复部分和不重复的非重复部分，并且，该重复部分和该非重复部分以沿所述高位置用载置部的移动方向并排的状态设置。

2.根据权利要求1所述的物品搬送设备，具有以下特征：

所述低位置搬送装置被设置成使所述低位置用载置部围绕沿铅垂方向的轴心旋转移动自如，

所述高位置搬送装置被设置成使所述高位置用载置部围绕沿铅垂方向的轴心旋转移动自如。

3.根据权利要求2所述的物品搬送设备，具有以下特征：

所述低位置用载置部和所述高位置用载置部被设置成围绕同一轴心旋转移动自如。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的物品搬送设备，具有以下特征：

所述搬送装置构成为将自如容纳多块基板的容器作为物品来搬送，

设有对所述基板进行处理的基板处理装置，

设有基板搬送装置，其从在载置于所述载置部的状态下位于所述第二搬送部位的所述容器取出所述基板，将该基板搬送至所述基板处理装置。

5.根据权利要求1至3中任意一项所述的物品搬送设备，具有以下特征：

所述低位置第一搬送部位与所述高位置第一搬送部位被设定于从上下方向看相同的位置。

6.根据权利要求5所述的物品搬送设备，具有以下特征：

设有搬送车，其具有在所述第一搬送部位与自身之间搬送物品的机构并沿水平方向移动自如，

所述搬送车构成为：在停止于对所述低位置第一搬送部位和所述高位置第一搬送部位通用设定的停止位置的状态下，在所述低位置第一搬送部位或所述高位置第一搬送部位与自身之间自如地搬送物品。

7.根据权利要求1至3中任意一项所述的物品搬送设备，具有以下特征：

设有顶部搬送车，其在被配设于顶部的行驶轨道引导支撑的状态下沿所述行驶轨道行驶自如且升降自如地具备支撑物品的支撑体，

所述顶部搬送车构成为：为了将物品卸于所述载置部，使所述支撑体下降移动而将物品搬送至所述第一搬送部位，并且，为了从所述载置部抬起物品，使所述支撑体上升移动而从所述第一搬送部位搬送物品。