[发明专利]一种方形基片和圆形基片兼容的定位结构

说明书

技术领域

本发明涉及芯片制造加工前将基片对位的机械结构，具体的说是一种方形基片和圆形基片兼容的定位结构。

背景技术

在芯片工艺研究的研究所、实验室大量使用手动、半自动的工艺加工设备，由于设备复杂程度、工艺指标要求、价格因素等原因，在芯片制造用基片加工过程中难免使用一些手动，半自动设备。研究所或实验室使用的手动、半自动的工艺加工设备大多要对被加工基片进行对位，保证基片置于合乎要求的位置，才能进行后续加工处理。手动、半自动的工艺加工设备一般用手取放基片，基片位置依靠经验，卡具、夹具对位；由于是用手取放，即使有卡具、夹具等辅助，也不可避免地会产生定位误差。再有，研究所或实验室因其自身大多做试验的性质特点，其基片的规格及形状多种多样，对于不同规格及形状的基片，需要更换不同的卡具、夹具，操作复杂，增加了生产成本，降低了工作效率。

发明内容

为了让研究所或实验室在使用手动、半自动的工艺加工设备手取放基片时更容易保证基片置于合乎要求的位置，本发明的目的在于提供一种方形基片和圆形基片兼容的定位结构。该定位结构是通过旋转摆臂定位到不同位置，利用不同的定位销对不同形状规格的基片实现准确定位。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：

本发明包括驱动部、旋转轴及旋转摆臂，其中旋转摆臂通过旋转轴与驱动部相连，由驱动部驱动绕所述旋转轴转动；所述旋转摆臂上安装有多个用于定位不同规格方形基片或圆形基片的定位销，所述旋转摆臂分为多段，相邻两段之间的接合处及最后一段的端部分别安装有定位销，所述不同规格方形基片或圆形基片通过至少两个定位销定位。

其中：所述多段的旋转摆臂的相邻段之间相互倾斜；所述旋转摆臂为四段，第一段的一端通过旋转轴与驱动部相连，另一端与第二段的一端连接，在第一、二段的接合处设有第一定位销；所述第二段的另一端与第三段的一端连接，在第二、三段的接合处设有第二定位销；所述第三段的另一端与第四段的一端连接，在第三、四段的接合处设有第三定位销，所述第四段另一端为自由端，并在第四段另一端的端部设有第四定位销；所述第二段相对于第一段沿逆时针方向倾斜，所述第三段相对于第二段沿顺时针方向倾斜，所述第四段相对于第三段沿顺时针方向倾斜；所述第一段与第二段之间的夹角为125°～135°，所述第二段与第三段之间的夹角为85°～95°，所述第三段与第四段之间的夹角为145°～155°。

本发明的优点与积极效果为：

1.本发明结构简单，放置摆臂动作简单、控制方便，适用于不同形状规格基片的定位，并且定位准确。

2.本发明为通用型设备，没有特别要求，成本低。

附图说明

图1为本发明的整体结构示意图；

图2为本发明工作状态及方形基片和不同规格圆形基片定位状态示意图，图中a为预备位，b为300mm圆片位，c为200mm圆片、方片位；

其中：1为驱动部，2为旋转轴，3为旋转摆臂，4为第一定位销，5为第二定位销，6为第三定位销，7为第四定位销，8为200mm方形基片，9为载片台，10为200mm圆形基片，11为300mm圆形基片，12为第一段，13为第二段，14为第三段，15为第四段。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步详述。

如图1所示，本发明包括驱动部1、旋转轴2及旋转摆臂3，其中旋转摆臂3通过旋转轴2与驱动部1相连，由驱动部1驱动绕旋转轴2转动。旋转摆臂3上安装有多个用于定位不同规格方形基片或圆形基片的定位销，旋转摆臂3分为多段，在相邻两段之间的接合处及最后一段的端部分别安装有定位销，不同规格方形基片或圆形基片通过至少两个定位销定位。