[发明专利]一种方形基片和圆形基片兼容的定位结构在审
申请号: | 201310542022.6 | 申请日: | 2013-11-04 |
公开(公告)号: | CN104617028A | 公开(公告)日: | 2015-05-13 |
发明(设计)人: | 张怀东 | 申请(专利权)人: | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 白振宇 |
地址: | 110168 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 方形 圆形 兼容 定位 结构 | ||
1.一种方形基片和圆形基片兼容的定位结构,其特征在于:包括驱动部(1)、旋转轴(2)及旋转摆臂(3),其中旋转摆臂(3)通过旋转轴(2)与驱动部(1)相连,由驱动部(1)驱动绕所述旋转轴(2)转动;所述旋转摆臂(3)上安装有多个用于定位不同规格方形基片或圆形基片的定位销,所述旋转摆臂(3)分为多段,相邻两段之间的接合处及最后一段的端部分别安装有定位销,所述不同规格方形基片或圆形基片通过至少两个定位销定位。
2.按权利要求1所述方形基片和圆形基片兼容的定位结构,其特征在于:所述多段的旋转摆臂(3)的相邻段之间相互倾斜。
3.按权利要求1或2所述方形基片和圆形基片兼容的定位结构,其特征在于:所述旋转摆臂(3)为四段,其中第一段(12)的一端通过旋转轴(2)与驱动部(1)相连,另一端与第二段(13)的一端连接,在第一、二段(12、13)的接合处设有第一定位销(4);所述第二段(13)的另一端与第三段(14)的一端连接,在第二、三段(13、14)的接合处设有第二定位销(5);所述第三段(14)的另一端与第四段(15)的一端连接,在第三、四段(14、15)的接合处设有第三定位销(6),所述第四段(15)另一端为自由端,并在第四段(15)另一端的端部设有第四定位销(7)。
4.按权利要求3所述方形基片和圆形基片兼容的定位结构,其特征在于:所述第二段(13)相对于第一段(12)沿逆时针方向倾斜,所述第三段(14)相对于第二段(13)沿顺时针方向倾斜,所述第四段(15)相对于第三段(14)沿顺时针方向倾斜。
5.按权利要求4所述方形基片和圆形基片兼容的定位结构,其特征在于:所述第一段(12)与第二段(13)之间的夹角(A)为125°~135°,所述第二段(13)与第三段(14)之间的夹角(B)为85°~95°,所述第三段(14)与第四段(15)之间的夹角(C)为145°~155°。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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