[发明专利]基板处理线及基板处理方法

说明书

技术领域

本发明涉及以下的基板处理技术：排列设置多台具备支撑基板并搬送该基板的搬送带的处理装置，在相邻的处理装置的所述搬送带间交接基板，并且在各处理装置中对基板进行处理。

背景技术

日本专利公开公报特开2010-087136号(专利文献)中公开了一种基板处理线(该专利文献的元件安装线)，该基板处理线中，基板投入机和元件安装机依次沿基板搬送方向排列，执行基板投入机与元件安装机之间的基板交接和对基板的处理。具体而言，基板投入机进行向位于基板搬送方向下游侧的元件安装机投入基板的处理，元件安装机进行对从基板搬送方向上游侧投入的基板安装元件的处理。而且，基板投入机及元件安装机等各处理装置具备通过搬送带沿基板搬送方向搬送基板的结构。因此，在相邻的处理装置各自的搬送带之间执行基板的交接，并在这些处理装置间执行基板的搬送。

上述处理装置中，通过采用使用在与基板搬送方向正交的正交方向上移动自如的可动搬送带来进行基板的支撑及搬送的结构，从而能够实现处理装置通用性的提高。但是，在排列有多个处理装置的基板处理线中，在利用具备可动搬送带的处理装置时，存在如下问题。即，可动搬送带的移动不能在任意时期进行。当在可动搬送带与其他搬送带之间进行基板的交接时，如果不慎移动可动搬送带，有可能无法由这些搬送带来可靠地支撑基板。因此，要求判断这些搬送带间的基板交接执行状况，以抑制可动搬送带的在不适当的时期的移动。

发明内容

本发明的目的在于在包含相互邻接的处理装置的基板处理线中抑制可动搬送带在不适当的时期的移动，所述相互邻接的处理装置的至少一者具备可动搬送带。

实现该目的的本发明的一方面所涉及的基板处理线包括：多个处理装置，分别具备支撑基板并沿基板搬送方向搬送该基板的搬送带，该多个处理装置沿所述基板搬送方向排列设置，在该多个处理装置的所述搬送带之间交接所述基板，该多个处理装置中的各处理装置对所述基板进行处理；驱动部，沿与所述基板搬送方向正交的正交方向驱动所述多个处理装置中的一处理装置所具备的作为所述搬送带的可动搬送带，该可动搬送带在所述正交方向上移动自如；控制部，控制基于所述驱动部的所述可动搬送带的移动；一位置检测部，检测所述一处理装置的所述可动搬送带所支撑的所述基板在所述基板搬送方向上的位置；另一位置检测部，检测所述多个处理装置中的与所述一处理装置相邻的另一处理装置的所述搬送带所支撑的所述基板在所述基板搬送方向上的位置；其中，所述控制部根据从所述一位置检测部及所述另一位置检测部这两者的检测结果判断在所述一处理装置的所述可动搬送带与所述另一处理装置的所述搬送带之间交接所述基板的基板交接动作的执行状况的结果，来控制基于所述驱动部的所述可动搬送带的移动。

本发明的另一方面所涉及的基板处理方法，将具备支撑基板并沿基板搬送方法搬送该基板的搬送带的处理装置沿所述基板搬送方向排列设置多个，在该多个处理装置的所述搬送带之间交接所述基板并在所述各处理装置中对所述基板进行处理，所述基板处理方法包括如下步骤：检测所述多个处理装置中的一处理装置所具备的作为所述搬送带的可动搬送带所支撑的所述基板在所述基板搬送方向上的位置，以作为一位置检测结果的步骤，所述可动搬送带在与所述基板搬送方向正交的正交方向上移动自如；检测所述多个处理装置中的与所述一处理装置相邻的另一处理装置的所述搬送带所支撑的所述基板在所述基板搬送方向上的位置，以作为另一位置检测结果的步骤；根据从所述一位置检测结果及所述另一位置检测结果这两者判断在所述一处理装置的所述可动搬送带与所述另一处理装置的所述搬送带之间交接所述基板的基板交接动作的执行状况的结果，来控制所述可动搬送带的移动的步骤。

根据上述发明，能够抑制可动搬送带在不适当的时期的移动。

附图说明

图1是示意性地表示本发明的第一实施方式所涉及的基板处理线的一例的图。

图2是表示在第一实施方式中上游侧的基板处理装置所执行的基板搬出处理的一例的流程图。

图3是表示在第一实施方式中下游侧的基板处理装置所执行的基板搬入处理的一例的流程图。

图4是示意性地表示按照图2及图3的流程图执行的具体动作的一例的动作图。

图5是表示图4中例示的动作的时间经过的时序图。

图6是示意性地表示基板交接动作的各执行状况的一例的图。

图7是示意性地表示本发明的第二实施方式所涉及的基板处理线的一例的图。

图8是表示在第二实施方式中上游侧的基板处理装置所执行的基板搬出处理的一例的流程图。