[发明专利]基板处理线及基板处理方法

权利要求书

1.一种基板处理线，其特征在于包括：

多个处理装置，分别具备支撑基板并沿基板搬送方向搬送该基板的搬送带，该多个处理装置沿所述基板搬送方向排列设置，在该多个处理装置的所述搬送带之间交接所述基板，该多个处理装置中的各处理装置对所述基板进行处理；

驱动部，沿与所述基板搬送方向正交的正交方向驱动所述多个处理装置中的一处理装置所具备的作为所述搬送带的可动搬送带，该可动搬送带在所述正交方向上移动自如；

控制部，控制基于所述驱动部的所述可动搬送带的移动；

一位置检测部，检测所述一处理装置的所述可动搬送带所支撑的所述基板在所述基板搬送方向上的位置；

另一位置检测部，检测所述多个处理装置中的与所述一处理装置相邻的另一处理装置的所述搬送带所支撑的所述基板在所述基板搬送方向上的位置；其中，

所述控制部根据从所述一位置检测部及所述另一位置检测部这两者的检测结果判断在所述一处理装置的所述可动搬送带与所述另一处理装置的所述搬送带之间交接所述基板的基板交接动作的执行状况的结果，来控制基于所述驱动部的所述可动搬送带的移动。

2.根据权利要求1所述的基板处理线，其特征在于：

所述控制部在从所述一位置检测部及所述另一位置检测部这两者的检测结果判断为所述基板交接动作正在执行中时，禁止基于所述驱动部的所述可动搬送带的移动。

3.根据权利要求1或2所述的基板处理线，其特征在于：

所述控制部根据判断所述一处理装置的所述可动搬送带的支撑所述基板的支撑状态的结果，控制基于所述驱动部的所述可动搬送带的移动。

4.根据权利要求3所述的基板处理线，其特征在于：

所述可动搬送带为两个，所述一处理装置还具备支撑台，该支撑台包含沿所述正交方向排列的该两个可动搬送带，该支撑台支撑所述基板并沿所述基板搬送方向搬送该基板，

所述驱动部执行变更所述两个可动搬送带的间隔的台宽度变更动作及使所述两个可动搬送带在保持彼此的间隔的状态下移动的台移动动作。

5.根据权利要求4所述的基板处理线，其特征在于：

所述控制部在判断为由所述两个可动搬送带支撑着所述基板时，至少禁止所述台宽度变更动作。

6.根据权利要求5所述的基板处理线，其特征在于：

所述控制部在判断为所述基板被收容在所述两个可动搬送带的所述基板搬送方向上的长度范围内且所述基板交接动作并非正在执行中时，允许所述台移动动作。

7.根据权利要求5所述的基板处理线，其特征在于：

所述控制部在判断为所述基板处于未被收容在所述两个可动搬送带的所述基板搬送方向上的长度范围内的状态时，禁止所述台宽度变更动作及所述台移动动作这两者。

8.根据权利要求1所述的基板处理线，其特征在于：

所述控制部设置于所述一处理装置。

9.根据权利要求8所述的基板处理线，其特征在于：

所述一处理装置及所述另一处理装置分别具有相互交换传输信号的通信控制部，

所述另一处理装置具有将所述另一位置检测部的检测结果送给所述通信控制部的线缆，

所述另一处理装置的所述通信控制部将经由所述线缆取得的检测结果转换为所述传输信号，并输出给所述一处理装置的所述通信控制部。

10.一种基板处理方法，其特征在于：

将具备支撑基板并沿基板搬送方法搬送该基板的搬送带的处理装置沿所述基板搬送方向排列设置多个，在该多个处理装置的所述搬送带之间交接所述基板并在所述各处理装置中对所述基板进行处理，所述基板处理方法包括如下步骤：

检测所述多个处理装置中的一处理装置所具备的作为所述搬送带的可动搬送带所支撑的所述基板在所述基板搬送方向上的位置，以作为一位置检测结果的步骤，所述可动搬送带在与所述基板搬送方向正交的正交方向上移动自如；

检测所述多个处理装置中的与所述一处理装置相邻的另一处理装置的所述搬送带所支撑的所述基板在所述基板搬送方向上的位置，以作为另一位置检测结果的步骤；

根据从所述一位置检测结果及所述另一位置检测结果这两者判断在所述一处理装置的所述可动搬送带与所述另一处理装置的所述搬送带之间交接所述基板的基板交接动作的执行状况的结果，来控制所述可动搬送带的移动的步骤。