[发明专利]预空间变换器、空间变换器、以及半导体装置检查设备

权利要求书

1.一种预空间变换器，包括：

基板，具有第一表面和第二表面，所述第二表面为与所述第一表面相对的表面；

独立电极，布置于所述第一表面上，以及

共用电极，布置于所述基板中，

其中，所述独立电极在构造单元图案的同时重复地布置。

2.根据权利要求1所述的预空间变换器，其中，所述独立电极包括在相同平面上布置成彼此隔开的信号/功率电极和接地电极。

3.根据权利要求1所述的预空间变换器，其中，所述独立电极包括信号/功率电极和接地电极，并且

所述共用电极包括电连接至所述接地电极的共用接地电极。

4.根据权利要求1所述的预空间变换器，其中，所述独立电极包括具有岛状横向截面的信号/功率电极和接地电极，并且

所述共用电极包括呈盘状的共用接地电极。

5.根据权利要求1所述的预空间变换器，其中，所述单元图案设置成栅格的形状，其中所述单元图案包括布置成彼此隔开的一个信号/功率电极和一个接地电极。

6.根据权利要求1所述的预空间变换器，进一步包括覆盖所述第一表面和所述第二表面中的至少一者的保护性膜。

7.根据权利要求1所述的预空间变换器，进一步包括穿过所述基板的多个过孔，

其中所述过孔布置成形成栅格的形状。

8.根据权利要求1所述的预空间变换器，进一步包括穿过所述基板的多个过孔；以及

在所述第二表面上连接至所述过孔的电极焊盘。

9.一种空间变换器，用于补偿半导体装置与电路板之间的电路间距的差异，所述空间变换器包括：

基板，具有面向所述半导体装置的第一表面和面向所述电路板的第二表面；

独立电极，在构造一个单元图案的同时布置在所述第一表面上；

共用电极，布置于所述基板中；

绝缘图案，覆盖所述第一表面，使得所述独立电极选择性地敞开；

电路图案，形成为电连接至所述绝缘图案上的所述独立电极；以及

连接引脚，连接至所述电路图案从而连接至所述半导体装置。

10.根据权利要求9所述的空间变换器，其中，所述独立电极包括在相同平面上布置成彼此隔开的信号/功率电极和接地电极。

11.根据权利要求9所述的空间变换器，其中，所述独立电极包括信号/功率电极和接地电极，并且

所述共用电极包括电连接至所述接地电极的共用接地电极。

12.根据权利要求9所述的空间变换器，其中，所述独立电极包括具有岛状横向截面的信号/功率电极和接地电极，并且

所述共用电极包括呈盘状的共用电极。

13.根据权利要求9所述的空间变换器，其中，所述独立电极包括：

使用电极，通过保护性图案选择性地敞开，从而电连接至所述连接引脚；以及

非使用电极，被所述保护性图案覆盖，从而不被暴露。

14.一种半导体装置检查设备，用于检查半导体装置的电特性，所述半导体装置检查设备包括：

印刷电路板，接收从试验器传递的检查信号；

插入件，布置在所述印刷电路板的面向所述半导体装置的一侧处；以及

空间变换器，接收从所述插入件传递的所述检查信号以将所述检查信号传递至所述半导体装置，并且补偿所述印刷电路板与所述半导体装置之间的电路间距的差异，

其中所述空间变换器包括：

基板，具有面向所述半导体装置的第一表面和面向所述电路板的第二表面；

独立电极，在构造一个单元图案的同时布置在所述第一表面上；

共用电极，布置于所述基板中；

绝缘图案，覆盖所述第一表面，使得所述独立电极选择性地敞开；

电路图案，形成为电连接至所述绝缘图案上的所述独立电极；以及

连接引脚，连接至所述电路图案从而连接至所述半导体装置。

15.根据权利要求14所述的半导体装置检查设备，其中，所述独立电极包括在相同平面上布置成彼此隔开的信号/功率电极和接地电极。