[发明专利]基于红外技术的晶圆切割在线检测系统

权利要求书

1. 一种基于红外技术的晶圆切割在线检测系统，包括传动轴（6）以及位于所述传动轴（6）端部的法兰（5）；其特征是：所述法兰（5）上还固定安装有用于检测切割道的红外传感器（7）。

2.根据权利要求1所述的基于红外技术的晶圆切割在线检测系统，其特征是：所述红外传感器（7）包括用于发射红外信号的红外发射电路（10）以及用于接收红外信号的红外接收电路（11），所述红外接收电路（11）与数据处理电路（14）连接。

3.根据权利要求2所述的基于红外技术的晶圆切割在线检测系统，其特征是：所述红外接收电路（11）通过信号放大电路（12）以及滤波电路（13）与数据处理电路（14）连接。

4.根据权利要求1所述的基于红外技术的晶圆切割在线检测系统，其特征是：所述法兰（5）上还安装有切割刀（4），红外传感器（7）的发射端设有检测窗口（9），所述检测窗口（9）内设置有吹气装置。

5.根据权利要求4所述的基于红外技术的晶圆切割在线检测系统，其特征是：所述切割刀（4）的下方设有晶圆（3），所述晶圆（3）通过保护膜（2）设置在承载板（1）上。