[发明专利]一种涂胶显影机的工艺模块布局方法

权利要求书

1.一种涂胶显影机的工艺模块布局方法，其特征在于：所述涂胶显影机包括依次串接的片盒站(1)、工艺站(2)及接口站(3)，其中工艺站(2)内设有涂胶模块(4)、显影模块(5)、热处理模块(6)及工艺站机器人(9)，所述涂胶模块(4)和显影模块(5)均设置于工艺站(2)的前面、并显影模块(5)位于涂胶模块(4)的上方，所述工艺站(2)的两侧面及后面均设有热处理模块(6)，所述工艺站机器人(9)设置于工艺站(2)的中心位置；所述工艺站机器人(9)通过两侧热处理模块(6)分别与片盒站(1)和接口站(3)进行晶圆的传送。

2.按权利要求1所述的涂胶显影机的工艺模块布局方法，其特征在于：所述涂胶模块(4)为两个，所述两个涂胶模块(4)设置于一个水平面上。

3.按权利要求1所述的涂胶显影机的工艺模块布局方法，其特征在于：所述显影模块(5)为两个，所述两个显影模块(5)设置于一个水平面上。

4.按权利要求1所述的涂胶显影机的工艺模块布局方法，其特征在于：所述热处理模块(6)内设有多个上、下堆叠的热处理单元。

5.按权利要求4所述的涂胶显影机的工艺模块布局方法，其特征在于：所述热处理单元为增粘单元、冷板单元、低温热板单元、高温热板单元或复合冷热板单元，各热处理单元的两侧均设有晶圆进出通道。

6.按权利要求1或5所述的涂胶显影机的工艺模块布局方法，其特征在于：所述片盒站(1)和接口站(3)内分别设有片盒站机器人(7)和接口站机器人(9)，所述片盒站机器人(7)将晶圆从工艺站(2)一侧的热处理模块(6)送入工艺站(2)内，晶圆经过工艺处理后，通过工艺站(2)另一侧热处理工艺模块(6)进入接口站(3)，所述接口站机器人(9)将晶圆传送到外部光刻机上。