[发明专利]基于硅谐振式传感器的压力生成方法

权利要求书

1.一种基于硅谐振式传感器的压力生成方法，其特征在于，包括下述步骤：

步骤一：数据采集

由硅谐振传感器采集压力信息，该压力信息以频率的形式被输出，同时硅谐振传感器还采集实时的温度数据，

步骤二：数据转换

硅谐振传感器以频率形式输出的压力信息被转换为脉冲计数；硅谐振传感器输出的模拟信号的温度信息被转换数字信号形式，

步骤三：计算

用下述公式计算压力值

x=fi-f‾---(1)]]>

P=k₁₁x+k₁₂xy+k₁₃xy²+k₁₄xy³+k₁₅xy⁴+k₁₆xy⁵

+k₂₁x²+k₂₂x²y+k₂₃x²y²+k₂₄x²y³+k₂₅x²y⁴+k₂₆x²y⁵

+k₃₁x³+k₃₂x³y+k₃₃x³y²+k₃₄x³y³+k₃₅x³y⁴+k₃₆x³y⁵

                                       （3）

+k₄₁x⁴+k₄₂x⁴y+k₄₃x⁴y²+k₄₄x⁴y³+k₄₅x⁴y⁴+k₄₆x⁴y⁵

+k₅₁x⁵+k₅₂x⁵y+k₅₃x⁵y²+k₅₄x⁵y³+k₅₅x⁵y⁴+k₅₆x⁵y⁵

其中，f_i是硅谐振传感器输出的频率信号，为选定的硅谐振传感器振动频率基准，是硅谐振传感器最大量程的一半对应的数值，U_温i是转换为数字信号的温度信息值，是温度20℃时硅谐振传感器输出的温度信息值，系数k₁₁～k₅₆分别为：

k₁₁1.01325k₁₂-0.00243k₁₃-0.72358k₁₄2.33162k₁₅-0.43251k₁₆0.00326

k₂₁2.14302k₂₂-0.32446k₂₃0.32854k₂₄-0.99864k₂₅0.00134k₂₆-0.23146k₃₁0.98633k₃₂1.30105k₃₃0.43882k₃₄0.06102k₃₅0.02214k₃₆0.00974k₄₁-0.05241k₄₂0.02571k₄₃0.00963k₄₄-0.00701k₄₅0.00385k₄₆-0.00013k₅₁0.00032k₅₂-0.00021k₅₃0.00001k₅₄-0.00001k₅₅0.00011k₅₆-0.00024

P就是最终输出的压力值。