[发明专利]一种精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制方法及装置

说明书

技术领域

本发明涉及图像显示领域，尤其涉及一种精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制方法及装置。

背景技术

精密测长机TTP机台是TFT-LCD（Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，薄膜晶体管液晶显示器）制程重要的光学量测机台，主要用于TFT基板/CF基板（彩色滤光片基板）第一层图案制作时曝光机曝光精度参数总间距（Total Pitch）的量测。Total Pitch量测的基本原理是激光的迈克尔逊干涉，通过干涉条纹强度计算距离。激光的稳定性易受温度影响，所以需要保证机台和量测的玻璃均保持在23±0.1℃。机台放置于恒温室中，玻璃则是先进入机台上方的冷却缓冲机构（Cooling Buffer），定时恒温后再搬入机台量测。若冷却缓冲机构的恒温效果不佳或者与主机台恒温室温度不一致，会导致玻璃进入机台后在量测过程中因温度变化产生热胀冷缩效应，影响Total Pitch的量测准确性和稳定性。所以需要一个稳定而智能的恒温冷却缓冲机构，以高效完成玻璃基板的冷却恒温。

目前的TTP机台冷却缓冲机构共4层槽位（Slot），可设定启用/禁用、恒温时间（仅针对整个冷却缓冲机构，不可单独对某一Slot设定）；开启冷却缓冲机构后，则其所有空的Slot都是可收片状态，可依次连续进片；玻璃在Slot中到达恒温时间后，则向Robot发出取片指令，排到主机台进行量测。其存在的缺点如下：

无法确保每个Slot的玻璃都有相同的冷却（cooling）时间，导致每片的量测条件不一样，量测值出现异常变异。因为进片逻辑为Slot为空就可进片，会出现以下情况：首先假设设定玻璃的冷却时间为20min，而玻璃在主机台的量测时间为10min；冷却缓冲机构为空时，Slot 1~Slot 4依次进入4片玻璃（时间间隔一般为30秒左右，可忽略不计，认为是同时进片）；Slot 1的玻璃到达20min的冷却时间后，先行排到主机台，进行量测，10min后量测完成并排片，之后Slot 2的玻璃才进入主机台，而此时Slot 2的玻璃已在冷却缓冲机构中冷却达20+10=30min，以此类推，Slot 3为40min，Slot 4为50min。至此，出现4片玻璃的恒温时间不一致的问题。而实际生产测试发现，受无尘室温度控制精度（23±1℃）和烘烤制程的影响，玻璃在TTP的冷却缓冲机构中冷却0~40min之间会因收缩效应而出现量测值的变化，直到约40min之后趋于稳定，但因为产线节拍时间（tact time）的考量和量测数据需求的即时性，不可能将恒温时间设到40min以上。

由上可知，业界迫切需要一种确保玻璃冷却时间一致，以提高量测准确性的进出片控制方式。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于，提供一种精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制方法及装置，确保玻璃冷却时间一致，以提高量测准确性。

为了解决上述技术问题，本发明提供一种精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制方法，包括：

步骤S1，在冷却缓冲机构中当前优先级的槽位Slot完成进片时，启动计时；

步骤S2，计时达到第一时间T1时，启动下一优先级的Slot进片。

其中，在所述步骤S1之前，还包括：为所述冷却缓冲机构中的各层Slot设置进片优先级。

其中，所述冷却缓冲机构中的各层Slot形成时间互锁循环。

其中，所述T1等于或略大于T，T为进入所述冷却缓冲机构的玻璃在主机台的单片量测时间与进出片时间之和。

其中，所述步骤S1进一步包括：

所述当前优先级的Slot完成进片时，生成进片完成信号；

所述进片完成信号触发计时。

其中，所述步骤S2进一步包括：

计时达到T1后，所述下一优先级的Slot生成可进片信号，启动所述Slot进片。

其中，每一Slot的玻璃完成冷却出片后，所述Slot生成不可进片信号，恢复为不可进片状态，等待下一次触发计时。

其中，某一优先级的Slot出现异常并且其内没有玻璃时，将其禁用。

其中，所述被禁用的Slot退出所述时间互锁循环，当其被解除禁用后，变为不可进片状态，加入所述时间互锁循环，等待其上一优先级的Slot来触发其进片计时。

其中，如果所述Slot在计时过程中被禁用，则禁用的同时直接触发启动其下一优先级的Slot计时，达到T1时启动所述下一优先级的Slot进片。