[发明专利]一种精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制方法及装置有效
申请号: | 201310502553.2 | 申请日: | 2013-10-23 |
公开(公告)号: | CN103529652A | 公开(公告)日: | 2014-01-22 |
发明(设计)人: | 黄文德 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G01B11/02 |
代理公司: | 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 | 代理人: | 潘中毅;熊贤卿 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 精密 长机 冷却 缓冲 机构 进出 控制 方法 装置 | ||
1.一种精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制方法,包括:
步骤S1,在冷却缓冲机构中当前优先级的槽位Slot完成进片时,启动计时;
步骤S2,计时达到第一时间T1时,启动下一优先级的Slot进片。
2.根据权利要求1所述的控制方法,其特征在于,在所述步骤S1之前,还包括:为所述冷却缓冲机构中的各层Slot设置进片优先级。
3.根据权利要求1所述的控制方法,其特征在于,所述冷却缓冲机构中的各层Slot形成时间互锁循环。
4.根据权利要求3所述的控制方法,其特征在于,所述T1等于或略大于T,T为进入所述冷却缓冲机构的玻璃在主机台的单片量测时间与进出片时间之和。
5.根据权利要求3所述的控制方法,其特征在于,所述步骤S1进一步包括:
所述当前优先级的Slot完成进片时,生成进片完成信号;
所述进片完成信号触发计时。
6.根据权利要求5所述的控制方法,其特征在于,所述步骤S2进一步包括:
计时达到T1后,所述下一优先级的Slot生成可进片信号,启动所述Slot进片。
7.根据权利要求6所述的控制方法,其特征在于,每一Slot的玻璃完成冷却出片后,所述Slot生成不可进片信号,恢复为不可进片状态,等待下一次触发计时。
8.根据权利要求3所述的控制方法,其特征在于,某一优先级的Slot出现异常并且其内没有玻璃时,将其禁用。
9.根据权利要求8所述的控制方法,其特征在于,所述被禁用的Slot退出所述时间互锁循环,当其被解除禁用后,变为不可进片状态,加入所述时间互锁循环,等待其上一优先级的Slot来触发其进片计时。
10.根据权利要求8所述的控制方法,其特征在于,如果所述Slot在计时过程中被禁用,则禁用的同时直接触发启动其下一优先级的Slot计时,达到T1时启动所述下一优先级的Slot进片。
11.根据权利要求10所述的控制方法,其特征在于,如果所述下一优先级的Slot已有玻璃在做冷却,则等待玻璃排出后再启动计时。
12.根据权利要求1所述的控制方法,其特征在于,在某一Slot完成进片后,通过触发排片开始信号实时进行排片。
13.一种精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制装置,其特征在于,包括:启动单元,用于当前优先级的Slot完成进片时,启动计时单元计时;以及在所述计时单元计时达到第一时间T1时,启动下一优先级的Slot进片。
14.根据权利要求13所述的控制装置,其特征在于,所述启动单元还包括:
第一信号生成单元,用于当前优先级的Slot完成进片时,生成进片完成信号,所述进片完成信号触发所述计时单元计时;以及
第二信号生成单元,用于在所述计时单元计时达到第一时间T1时,生成下一优先级的Slot的可进片信号,所述可进片信号启动所述下一优先级的Slot进片。
15.根据权利要求14所述的控制装置,其特征在于,还包括:
提前排片单元,用于在某一Slot完成进片后,实时触发排片开始信号进行排片。
16.根据权利要求14所述的控制装置,其特征在于,还包括:
禁用单元,用于在某一优先级的Slot出现异常并且其内没有玻璃时,将其禁用。
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