[发明专利]一种有机发光二极管阳电极的制备方法

权利要求书

1.一种有机发光二极管（OLED）的阳电极的制备方法。所述方法依次包括如下步骤：

（1）在水蒸气氛围中沉积ITO材料，形成第一ITO层；

（2）对第一ITO层进行第一次处理；

（3）在水蒸气氛围中沉积ITO材料，形成第二ITO层；

（4）对第二ITO层进行第二次处理。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：

其中，步骤（1）的具体过程为：在沉积腔内通入水蒸气，在水蒸气的氛围下沉积ITO材料至发光二极管的功能层上，从而形成第一ITO层；步骤（2）的具体过程为：对第一ITO层的表面进行处理。在等离子体腔中通过氧气，使得氧气等离子体化后对第一ITO层进行处理；步骤（3）的具体过程为：在沉积腔内通入水蒸气，在水蒸气的氛围下沉积ITO材料至第一ITO层上，从而形成第二ITO层；步骤（4）的具体过程为：将完成步骤（3）的第二ITO层以双氧水浸没，对ITO层表面进行第一次紫外光照射后，对第二ITO层表面进行干燥，然后在臭氧的氛围中对该第二ITO层表面进行第二次紫外光照射，最后得到ITO阳电极。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于：

第一ITO层1所形成的厚度为所述ITO阳电极厚度的1/3-1/2，优选1/3；第二ITO层2的厚度为所述ITO阳电极厚度的1/2-2/3，优选2/3。