[发明专利]光栅基板短路检测方法

权利要求书

1.一种光栅基板短路检测方法，其特征在于，包括步骤：

对光栅基板上的每条第一电极施加电压，对于每条第二电极不加电，采用探针沿第二电极所在的直线移动，检测所述第二电极的电压；

判断每条第二电极上的电压最大值是否大于预定阈值，若大于，则确定与第一电极短路。

2.如权利要求1所述的光栅基板短路检测方法，其特征在于，对于每条第二电极，采用探针沿第二电极所在的直线移动的具体方式包括：

设置阵列基板检测设备的纵向导轨，使所述纵向导轨所在的直线与第二电极所在的直线在同一方向；

驱动纵向导轨在横向导轨上移动以定位每一条第二电极，驱动探针在所述纵向导轨上移动，以检测每条第二电极的电压。

3.如权利要求1所述的光栅基板短路检测方法，其特征在于，对于每条第二电极，采用探针沿第二电极所在的直线移动的具体方式包括：

驱动阵列基板检测设备的纵向导轨在横向导轨上移动，同时驱动探针在纵向导轨上移动，使得探针的轨迹为所述第二电极所在的直线。

4.如权利要求1所述的光栅基板短路检测方法，其特征在于，所述预定阈值为第一电极施加电压的30%～50%。

5.如权利要求1～4中任一项所述的光栅基板短路检测方法，其特征在于，在确定与第一电极短路的第二电极后，还包括：使光学镜头沿短路的第一电极和第二电极之间的缝隙移动，将采集短路的第一电极和第二电极之间的缝隙的图像与预先设定的标准图像对比，若采集到的缝隙的图像中在一定区域的图像与所述标准图像中相应区域的图像不同，则短路，从而确定短路位置为所述一定区域所在位置。

6.如权利要求5所述的光栅基板短路检测方法，其特征在于，使光学镜头沿短路的第一电极和第二电极之间的缝隙移动的具体方式包括：

设置阵列基板检测设备的纵向导轨，使所述纵向导轨所在的直线与第二电极所在的直线在同一方向；

驱动纵向导轨在横向导轨上移动以定位短路的第一电极和第二电极之间的缝隙，驱动光学镜头在所述纵向导轨上移动。

7.如权利要求5所述的光栅基板短路检测方法，其特征在于，使光学镜头沿短路的第一电极和第二电极之间的缝隙移动的具体方式包括：

驱动阵列基板检测设备的纵向导轨在横向导轨上移动，同时驱动光学镜头在纵向导轨上移动，使得所述光学镜头沿短路的第一电极和第二电极之间的缝隙移动。