[发明专利]一种电极加热极及其加工工艺

权利要求书

1.一种电极加热极，包括基材（1）、加热极层（2）、隔离层（3）和电极层（4），其特征在于，加热极层（2）通过淀积方式覆在基材（1）上，加热极层（2）上还淀积有隔离层（3），电极层（4）通过淀积方式包覆在加热极层（2）和隔离层（3）上，隔离层（3）上部的电极层（4）通过刻蚀去除。

2.根据权利要求1所述的电极加热极，其特征在于，所述的隔离层（3）采用二氧化硅制成。

3.根据权利要求2所述的电极加热极，其特征在于，所述的隔离层（3）的淀积厚度为2000～30000埃之间。

4.制作电极加热极的加工工艺，包括如下步骤：薄膜淀积和刻蚀，其特征在于，在基材（1）上淀积一层加热极层（2），然后在加热极层（2）刻蚀成所需线路图样后再在加热极层（2）淀积一层二氧化硅隔离层（3），然后进行隔离层（3）刻蚀，去除包覆在加热极层（2）两侧边处的隔离层（3）使隔离层（3）只覆盖于加热极层（2）的顶面，在此基础上再淀积电极层（4），通过刻蚀去除隔离层（3）顶面的电极层（4）形成所需的线路。

5.根据权利要求5所述的电极加热极加工工艺，其特征在于，所述的刻蚀采用干法刻蚀。

6.根据权利要求5所述的电极加热极加工工艺，其特征在于，所述的薄膜淀积采用化学气相淀积保证膜厚均匀性。