[发明专利]图案化膜层的制造方法以及电致变色装置的制造方法

说明书

技术领域

本发明是有关于一种图案化膜层的制造方法以及一种电致变色装置的制造方法。

背景技术

电致变色技术具有低耗电、高对比、记忆效应及抗红外线等优点，因此近年来许多研究投入电致变色技术的研究。电致变色技术通常是借由着色材料作为显色媒介。着色材料具有可逆的氧化状态及还原状态，而且着色材料在氧化状态与还原状态下呈现出不同的颜色。一般而言，可借由提供电压或电流，让着色材料发生电化学反应，从而使着色材料从氧化状态转变成还原状态，或者从还原状态转变成氧化状态，因此发生颜色上的变化。电致变色技术可应用在诸如显示器、电子书、电子广告牌等装置。现有的电致变色装置的可靠度(reliability)并不理想，因此，有必要进一步改善电致变色装置的可靠度。此外，现有技术通常采用黄光微影技术来形成图案化的膜层。传统的黄光微影技术不仅工艺成本昂贵，而且不可避免地会产生光刻胶、显影液、蚀刻液等化学废弃物，而不利于环境保护。

发明内容

本发明的一态样是提供一种图案化膜层的制造方法。上述图案化膜层的制造方法包含以下步骤：提供一基材，基材具有一第一面以及相对于第一面的一第二面；提供一材料源，基材的第一面朝向材料源，且材料源用以提供多个带电粒子；提供一磁性元件，其中第二面设置于磁性元件以及第一面之间；以及借由磁性元件，以将带电粒子沉积于第一面上，而形成一图案化膜层。

在一实施方式中，带电粒子在第一面上的至少二区域形成不同的膜层厚度，以形成图案化膜层。

在一实施方式中，磁性元件包含一第一磁元件及一第二磁元件，且第一磁元件的磁矩方向不同于第二磁元件的磁矩方向。

在一实施方式中，第一磁元件的磁矩方向实质上与第二磁元件的磁矩方向相反。

在一实施方式中，磁性元件在第一面上形成一磁场，而磁场的分布相对于基材的位置维持恒定。

在一实施方式中，磁性元件在第一面上形成一磁场，而带电粒子借由磁场于第一面上形成具有凹陷部的图案化膜层。

在一实施方式中，磁性元件包含多个第一磁元件及多个第二磁元件，第一磁元件与第二磁元件交替设置，而各个第一磁元件的磁矩方向实质上平行一第一方向，各个第二磁元件的磁矩方向实质上平行一第二方向，且第一方向与第二方向相反。

在一实施方式中，磁性元件固定于基板的第二面上。

在一实施方式中，上述的方法更包含将基材设置于一反应腔室中，其中反应腔室配置有材料源，且材料源与磁性元件分别位于基材的相对两侧。

本发明的另一态样是提供一种电致变色装置的制造方法，俾能提高电致变色装置的可靠度。此方法包含以下步骤：提供一第一基材，并且形成一第一导电层于第一基材上；提供一第二基材，并且形成一第二导电层于第二基材上；于第一导电层与第二导电层之间形成一电致变色层与一电解质层；其中形成第一导电层、第二导电层、电致变色层及电解质层的其中至少一者包含以下步骤：提供一材料源，材料源用以提供多个带电粒子；将第一基材的一第一面朝向材料源；提供一磁性元件，其中磁性元件与材料源分别位于第一基材的相对两侧；借由磁性元件，以将带电粒子沉积于第一面上，借以形成第一导电层、第二导电层、电解质层或电致变色层。

在一实施方式中，形成电解质层的步骤包含依序形成一离子储存层以及一固态电解质层。

在一实施方式中，电致变色层包含氧化钨、氧化镍、氧化钒、氧化铜、普鲁士蓝(Fe₄[Fe(CN₆)₃])、聚苯胺(polyaniline)、二茂铁(viologen)、氧化钼、氧化铌、氧化钛、氧化铱、氧化铟锡或上述之组合。

在一实施方式中，带电粒子在第一面上的至少二区域形成不同的膜层厚度。

在一实施方式中，磁性元件包含一第一磁元件及一第二磁元件，且第一磁元件的磁矩方向不同于第二磁元件的磁矩方向。

在一实施方式中，第一磁元件的磁矩方向实质上与第二磁元件的磁矩方向相反。

在一实施方式中，第一磁元件对应第一面的第一区域，第二磁元件对应第一面的第二区域，以及第一区域与第二区域沉积不同的膜层厚度。

在一实施方式中，磁性元件在第一面上形成一磁场，而磁场的分布相对于基材的位置维持恒定。

在一实施方式中，磁性元件包含多个第一磁元件及多个第二磁元件，第一磁元件与第一磁元件交替设置，而各个第一磁元件的磁矩方向实质上平行一第一方向，各个第二磁元件的磁矩方向实质上平行一第二方向，且第二方向与第二方向相反。

附图说明