[发明专利]制造图案化基板的方法

说明书

本申请要求于2012年10月12日提交的第10-2012-0113235号韩国专利申请的优先权，出于全部目的通过引用将上述申请的全部内容包含于此。

技术领域

本发明涉及一种制造图案化基板的方法，更具体地说，涉及这样一种制造图案化基板的方法，利用该方法，能够改善包括有机太阳能电池和有机发光二极管（OLED）的光伏电池的光学性能。

背景技术

当前处于公众关注点的下一代技术和产品包括以有机材料为基础的有机光子装置（organic photonic device）。例如，应用在移动显示器和固态照明（SSL）中的有机发光二极管（OLED）以及采用有机材料作为吸收层的有机太阳能电池是典型的有机光子装置。在这些装置中，目前，由于已经集中研究了有机材料，因而具有高水平性能的有机材料正在进行开发。

然而，为了构造这种有机光子装置，必须将有机材料与无机材料结合。使用于有机光子装置中的典型的无机材料包括透明电极、金属反射体电极、玻璃基板等。具体地说，透明无机材料由于不同的折射率等造成了大量的光损失。因此，这导致在提高光效率方面的明显障碍。

出于这些原因，尽管开发新的有机材料很重要，但是也需要持续研究和开发以提高无机材料的光效率。

提供本发明的背景部分中公开的信息仅是为了更好地理解本发明的背景，而不应该被认为是承认或者以任何形式表明该信息形成已经为本领域技术人员知晓的现有技术。

发明内容

本发明的各种方面提供了一种制造图案化基板的方法，利用该方法，能够改善包括有机太阳能电池和有机发光二极管（OLED）的光伏电池的光学性能。

在本发明的一方面，提供了一种制造光伏电池或有机发光二极管的图案化基板的方法。所述方法包括下述步骤：通过利用电解质对基板进行处理而在基板的表面上产生静电力；使纳米颗粒被吸附在基板的所述表面上；使用纳米颗粒作为蚀刻掩模而蚀刻基板的所述表面；去除残留在基板的所述表面上的纳米颗粒。

根据本发明的示例性实施例，利用电解质对基板进行处理的步骤可以包括：将基板浸入溶解有带正电的第一电解质的溶液中然后清洗基板的第一步；在第一步之后，将基板浸入溶解有带负电的第二电解质的溶液中然后冲洗基板的第二步；在第二步之后，将基板浸入到溶解有带正电的第三电解质的溶液中然后冲洗基板的第三步。

这里，第一电解质、第二电解质和第三电解质中的每个可以实现为溶解到水溶液中的有机材料。

具体地说，第一电解质和第三电解质可以是聚丙烯胺盐酸盐（PAH），第二电解质可以是聚苯乙烯磺酸（PSS）。

另外，第一电解质、第二电解质和第三电解质可以溶解在NaCl溶液中。

另外，利用电解质处理基板的步骤还可以包括在第三步之后干燥基板的第四步。

此外，使纳米颗粒被吸附的步骤可以包括：将基板浸入到其中分散有纳米颗粒的溶液中；将基板从所述溶液取出，并干燥基板。

另外，纳米颗粒可以由诸如SiO₂、TiO₂和Nb₂O₃的氧化物类材料中的一种或者聚合物材料制成。

此外，在产生静电力之前可以利用氧等离子体对基板的所述表面进行处理。

另外，基板可以实现为从由透明导电氧化物基板、蓝宝石基板、氮化镓基板和玻璃基板组成的组中选择的一种。

在本发明的一方面，提供了一种制造光伏电池的方法，所述方法包括使用制造图案化基板的方法在光伏电池的电极基板和玻璃基板中的至少一者的表面上形成图案。

在本发明的一方面，提供了一种制造有机发光二极管的方法，所述方法包括使用制造图案化基板的方法在有机发光二极管的玻璃基板、内部光提取基板和外部光提取基板中的至少一者的表面上形成图案。

根据本发明的实施例，由于利用电解质处理基板的表面，因此纳米颗粒被吸附在基板的表面上，并且使用吸附的纳米颗粒作为蚀刻掩模来图案化基板的表面。当图案化的基板被应用于有机光伏电池的透明电极基板或有机发光二极管（OLED）的光提取基板时，能够提高应用基板的有机光子装置的光效率。

本发明的方法和设备具有其它的特征和优点，所述其它的特征和优点将通过包含于此的附图和下面的具体实施方式而变得明显，或在附图和下面的具体实施方式中进行更详细的阐述，附图与下面的具体实施方式一起用于解释本发明的特定原理。

附图说明

图1到图8是顺序地示出了根据本发明实施例的制造图案化基板的方法的过程的示意图；