[发明专利]制造图案化基板的方法

权利要求书

1.一种制造光伏电池或有机发光二极管的图案化基板的方法，所述方法包括下述步骤：

通过利用电解质对基板进行处理而在基板的表面上产生静电力；

使纳米颗粒被吸附在基板的所述表面上；

使用纳米颗粒作为蚀刻掩模而蚀刻基板的所述表面；

去除残留在基板的所述表面上的纳米颗粒。

2.如权利要求1所述的方法，其中，利用电解质对基板进行处理的步骤包括：

将基板浸入溶解有带正电的第一电解质的溶液中然后清洗基板的第一步；

在第一步之后，将基板浸入溶解有带负电的第二电解质的溶液中然后冲洗基板的第二步；

在第二步之后，将基板浸入溶解有带正电的第三电解质的溶液中然后冲洗基板的第三步。

3.如权利要求2所述的方法，其中，第一电解质、第二电解质和第三电解质中的每个包括溶解到水溶液中的有机材料。

4.如权利要求3所述的方法，其中，第一电解质和第三电解质均包括聚丙烯胺盐酸盐，第二电解质包括聚苯乙烯磺酸。

5.如权利要求4所述的方法，其中，第一电解质、第二电解质和第三电解质溶解在NaCl溶液中。

6.如权利要求2所述的方法，其中，利用电解质处理基板的步骤还包括在第三步之后干燥基板的第四步。

7.如权利要求1所述的方法，其中，使纳米颗粒被吸附的步骤包括：

将基板浸入到使纳米颗粒分散的溶液中；

将基板从所述溶液取出，并干燥基板。

8.如权利要求1所述的方法，其中，纳米颗粒包括氧化物类材料中的一种或者聚合物材料，氧化物类材料包括SiO₂、TiO₂和Nb₂O₃。

9.如权利要求1所述的方法，其中，在产生静电力之前利用氧等离子体对基板的所述表面进行处理。

10.如权利要求1所述的方法，其中，基板包括从由透明导电氧化物基板、蓝宝石基板、氮化镓基板和玻璃基板组成的组中选择的一种。

11.一种制造光伏电池的方法，所述方法包括使用如权利要求1所述的方法在光伏电池的电极基板和玻璃基板中的至少一者的表面上形成图案。

12.一种制造有机发光二极管的方法，所述方法包括使用如权利要求1所述的方法在有机发光二极管的玻璃基板、内部光提取基板和外部光提取基板中的至少一者的表面上形成图案。