[发明专利]抗蚀剂剥离液的再生方法以及再生装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种从使用完毕的抗蚀剂剥离液分离溶剂成分、并再生使用的抗蚀剂剥离液的再生方法，特别是涉及一种用于浓缩来自高沸点分离器的含抗蚀剂的残留液的残渣浓缩器内以及配管不易产生附着物的抗蚀剂剥离液的再生方法以及装置。

背景技术

在半导体、液晶显示器、有机及无机的EL显示器的制造中，大多使用光刻的技术。在此，在基板上形成材料薄膜，在其上用抗蚀剂形成图案。接下来沿着该抗蚀图案进行蚀刻处理，将材料薄膜形成为期望的图案。接下来，将最后剩余的抗蚀剂剥离。

抗蚀剂为具有感光性的树脂材料，可适宜地利用例如酚醛清漆树脂等。因此，为了将抗蚀剂剥离，使用溶剂作为基体的剥离剂。例如，可使用单乙醇胺、二甲亚砜的混合物，丙二醇单甲基醚乙酸酯与丙二醇单甲基醚的混合物的所谓稀释剂（thinner）等，以及由多种溶剂成分和水分形成的水系剥离液。

这些溶剂被大量使用，绝不便宜。另外，从再资源化的观点出发，对于各溶剂成分而言分离并再资源化为最有效的方法，但从成本方面考虑，将单独的溶剂成分离、精制至能够再利用化没有达到实用的方法。通常，将使用完毕的抗蚀剂剥离液用作助燃剂的情况较多，但存在还具有水分的情况，因此为了大量使用而通过燃烧使其分解时耗费成本。

因此，将使用完毕的抗蚀剂剥离液进行回收并气化分离、再使用。在专利文献1中，公开了这样的溶剂的再生方法。在专利文献1的再生方法中，首先从使用完毕的抗蚀剂剥离液去除树脂成分，接着蒸发去除低沸点杂质。接下来，将该残留液蒸馏，使溶剂成分蒸发并作为冷凝液回收。

另外，在专利文献1中，在这样的将使用完毕的抗蚀剂剥离液再生的方法中，公开了树脂去除装置的利用方法，所述树脂去除装置将作为气化分离水、溶剂后的最终残渣的抗蚀剂及其他成分凝聚。其记载了下述内容：该树脂去除装置具备：具有内壁面作为可加热的蒸发面的密闭状的筒主体、和配置在筒主体内的在外周面具有放射状的刷子的旋转体，在筒主体的蒸发面与刷子之间供给使用完毕的溶剂，使低沸点物质和溶剂蒸发，仅使树脂成分流下。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第3409028号公报

发明内容

发明要解决的问题

在将高沸点分离工序的分离残渣物进一步浓缩的残渣浓缩工序中，使用后的抗蚀剂成分（以后简称为“抗蚀剂成分”）、金属系布线材料（例如铝）这样的无机固形物等作为残渣物得到，溶剂和水作为气化分离物取出。然而，该抗蚀剂成分为有机物，一般来说这些抗蚀剂成分在常温下为固体，在溶剂中溶解。然而，如果残渣浓缩器的出口附近温度下降，则有可能固体化而附着。

如果一旦附着了，则即使设为沸点以上的温度也不易剥离。如果残渣浓缩器内产生附着物、该附着物生长，则残渣浓缩器内的热导率降低并且有效容积减少，变得无法确保规定的处理速率，进一步，如果抗蚀剂成分附着导致附着物增加，则存在堵塞配管这样的问题。

用于解决问题的方案

本发明是鉴于上述问题而想到的，通过在规定时间段（残渣浓缩器的运转开始时以及停止时）向残渣浓缩器供给含有抗蚀剂成分的含抗蚀剂的残留液、溶剂和含水的低沸点成分，洗涤在残渣浓缩器的出口附近刚开始固体化、附着的抗蚀剂成分，使得不会发生下述情况：残渣浓缩器内处于高温的抗蚀剂成分沿残渣浓缩器的内壁流下、在残渣浓缩器的出口附近温度下降而固体化从而附着，由此防止抗蚀剂成分附着于残渣浓缩器。

更具体而言，本发明的抗蚀剂剥离液的再生方法的特征在于，其具有下述工序：

低沸点分离工序，从抗蚀剂的剥离中使用的至少含有溶剂、含水的低沸点成分和抗蚀剂成分的使用完毕的抗蚀剂剥离液分离前述含水的低沸点成分的一部分并作为废液A气化分离并取出；

高沸点分离工序，将前述低沸点分离工序的分离残留液气化分离，将前述含水的低沸点成分的剩余部分和前述溶剂作为分离液取出，将含前述抗蚀剂成分的含抗蚀剂的残留液作为分离残留液；

残渣浓缩工序，将前述含抗蚀剂的残留液在残渣浓缩器内进一步浓缩，分离前述溶剂和前述含水的低沸点成分并返回至前述高沸点分离工序；

精制工序，从前述高沸点分离工序的分离液气化分离前述水的剩余部分作为废液B，将分离残留液作为抗蚀剂剥离再生液取出；和

洗涤工序，使前述低沸点分离工序的分离残留液在前述残渣浓缩器内均匀地流下。

另外，本发明的抗蚀剂剥离液的再生装置的特征在于，其具有：