[发明专利]抗蚀剂剥离液的再生方法以及再生装置

权利要求书

1.一种抗蚀剂剥离液的再生方法，其特征在于，其具有下述工序：

低沸点分离工序，从抗蚀剂的剥离中使用的至少含有溶剂、含水的低沸点成分和抗蚀剂成分的使用完毕的抗蚀剂剥离液分离所述含水的低沸点成分的一部分并作为废液A气化分离并取出；

高沸点分离工序，将所述低沸点分离工序的分离残留液气化分离，将所述含水的低沸点成分的剩余部分和所述溶剂作为分离液取出，将含所述抗蚀剂成分的含抗蚀剂的残留液作为分离残留液；

残渣浓缩工序，将所述含抗蚀剂的残留液在残渣浓缩器内进一步浓缩，分离所述溶剂和所述含水的低沸点成分并返回至所述高沸点分离工序；

精制工序，从所述高沸点分离工序的分离液气化分离所述水的剩余部分作为废液B，将分离残留液作为抗蚀剂剥离再生液取出；和

洗涤工序，使所述低沸点分离工序的分离残留液在所述残渣浓缩器内均匀地流下。

2.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液的再生方法，其特征在于，在所述洗涤工序中，将所述残渣浓缩器内的温度设为所述低沸点分离工序的分离残留液的至少溶剂的沸点以下的温度。

3.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液的再生方法，其特征在于，所述低沸点分离工序的分离残留液在从所述低沸点分离工序移送至所述高沸点分离工序时，在保温状态下被移送。

4.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液的再生方法，其特征在于，所述高沸点分离工序的分离液在从所述高沸点分离工序移送至所述精制工序时，在减压并且保温状态下被移送。

5.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液的再生方法，其特征在于，所述洗涤工序在所述残渣浓缩工序停止前进行。

6.根据权利要求1～5中的任一项权利要求所述的抗蚀剂剥离液的再生方法，其特征在于，所述洗涤工序在所述残渣浓缩工序启动前进行。

7.一种抗蚀剂剥离液的再生装置，其特征在于，其具有：

低沸点分离器，从抗蚀剂的剥离中使用的至少含有溶剂、含水的低沸点成分和抗蚀剂成分的使用完毕的抗蚀剂剥离液分离所述含水的低沸点成分的一部分并作为废液A气化分离并取出；

高沸点分离器，将所述低沸点分离器的分离残留液气化分离，将所述含水的低沸点成分的剩余部分和所述溶剂作为分离液取出，将含所述抗蚀剂成分的含抗蚀剂的残留液作为分离残留液；

残渣浓缩器，将所述含抗蚀剂的残留液进一步浓缩，分离所述溶剂和所述含水的低沸点成分并返回至所述高沸点分离器；和

精制器，从所述高沸点分离器的分离液气化分离所述含水的低沸点成分的剩余部分作为废液B，将分离残留液作为抗蚀剂剥离再生液取出；

洗涤单元，使所述低沸点分离器的分离残留液在所述残渣浓缩器内均匀地流下。

8.根据权利要求7所述的抗蚀剂剥离液的再生装置，其特征在于，其具有加热单元，所述加热单元使得所述洗涤单元动作时所述残渣浓缩器内的温度为所述低沸点分离器的分离残留液的至少溶剂的沸点以下的温度。

9.根据权利要求7所述的抗蚀剂剥离液的再生装置，其特征在于，在将所述低沸点分离器的分离残留液从所述低沸点分离器移送至所述高沸点分离器的配管上配设有对所述配管进行保温的配管保温单元。

10.根据权利要求7所述的抗蚀剂剥离液的再生装置，其特征在于，在将所述高沸点分离器的分离液从所述高沸点分离器移送至所述精制器的配管上配设有对所述配管内进行减压的减压单元、和对所述配管进行保温的配管保温单元。

11.根据权利要求7所述的抗蚀剂剥离液的再生装置，其特征在于，所述洗涤单元在所述残渣浓缩器停止前动作。

12.根据权利要求7～11中的任一项权利要求所述的抗蚀剂剥离液的再生装置，其特征在于，所述洗涤单元在所述残渣浓缩器启动前动作。