[发明专利]衬底分离装置和使用衬底分离装置的衬底分离方法

说明书

技术领域

本发明涉及衬底分离装置和使用衬底分离装置的衬底分离方法，更具体地，涉及用于将第一衬底与第二衬底分离的衬底分离装置以及使用该衬底分离装置的衬底分离方法。

背景技术

可容易制成以具有大面积并且薄且轻的平板显示器（FPD）迅速地占据了当前的显示器市场。

FPD包括液晶显示器（LCD）、等离子显示屏（PDP）和有机发光显示器（OLED）。然而，传统的LCD、PDP、OLED等因使用玻璃衬底而缺乏柔性。因此，它们具有有限的应用和使用。

因此，取代玻璃衬底使用由柔性材料（诸如，塑料或箔）形成的衬底的柔性显示器被积极开发作为下一代显示器。

柔性显示器要求柔性衬底。然而，传统的柔性衬底在它们的耐热性方面具有局限性。因此，在传统的面板制造过程中取代玻璃衬底采用传统的柔性衬底是不容易的。在这方面，正在研究通过使用玻璃衬底作为基础形成面板并且通过移除玻璃衬底向面板添加柔性的方法。

发明内容

本发明的方面提供了能够同时执行衬底分离和清洁操作的衬底分离装置。

本发明的方面还提供了被采用以同时执行衬底分离和清洁操作的衬底分离方法。

然而，本发明的方面不限于本文所述的方面。通过参考下面给出的本发明的详细描述，对本发明所属领域的技术人员而言，本发明的上面和其它方面将变得显而易见。

根据本发明的一方面，提供了一种衬底分离装置，所述装置包括激光照射器、激光分光器和方向变换器，其中所述激光照射器沿第一方向照射第一激光束，所述激光分光器将所述第一激光束分成沿所述第一方向行进的第二激光束和沿不同于所述第一方向的第二方向行进的第三激光束，所述方向变换器改变所述第二激光束或所述第三激光束的方向。

根据本发明的另一方面，提供了一种衬底分离方法，该方法包括：沿第一方向照射第一激光束；将所述第一激光束分成沿所述第一方向行进的第二激光束和沿不同于所述第一方向的第二方向行进的第三激光束；改变所述第二激光束或所述第三激光束的方向；以及将所述第二激光束和所述第三激光束照射至衬底组件。

附图说明

通过参考附图详细描述本发明的示例性实施方式，本发明的上面和其它方面和特征将变得更加明显，在附图中：

图1是根据本发明实施方式的衬底分离装置的框图；

图2是示出了根据本发明实施方式的照射到第一衬底的第二表面的激光束的截面图；

图3是示出了根据本发明实施方式的照射到第一衬底的第一表面的激光束的截面图；

图4是根据本发明一个实施方式的衬底分离装置的截面图；

图5是图4所示的衬底分离装置的部分平面视图；

图6至图8是示出了图4所示的衬底分离装置的操作的截面图；

图9是根据图4的实施方式的衬底组件的修改实施例的截面图；

图10是根据本发明另一实施方式的衬底分离装置的截面图；

图11是根据本发明另一实施方式的衬底分离装置的截面图；

图12是根据本发明另一实施方式的衬底分离装置的截面图；

图13是根据本发明另一实施方式的衬底分离装置的框图；

图14是根据本发明另一实施方式的衬底分离装置的截面图；

图15是根据本发明另一实施方式的衬底分离装置的截面图；以及

图16是根据本发明另一实施方式的衬底分离方法的流程图。

具体实施方式

本发明的方面和特征以及实现这些方面和特征的方法将通过参考附图详细描述的实施方式显而易见。然而，本发明不限于下文公开的实施方式，而是可以不同的形式实现。说明书中限定的主题（诸如，详细的结构和元件）是被提供协助本领域技术人员全面理解本发明的具体细节，本发明仅在权利要求的范围内被限定。

用于指定一个元件位于另一元件之上或者位于不同的层或一个层之上的术语“位于……之上”包括一个元件直接位于另一个元件或一个层之上的情况和一个元件经由另一层或又一元件位于另一个元件之上的情况。在本发明的整个描述中，相同的参考标号用于各个附图中的相同元件。

尽管术语“第一、第二、等等”用于描述不同的构成元件，这些构成元件不受术语限制。此术语仅用于区别一个构成元件与其它构成元件。由此，在下面的描述中，第一构成元件可以是第二构成元件。

在下文中，将参考附图描述本发明的实施方式。

图1是根据本发明实施方式的衬底分离装置100的框图。