[发明专利]衬底分离装置和使用衬底分离装置的衬底分离方法有效
| 申请号： | 201310463783.2 | 申请日： | 2013-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN104275555B | 公开（公告）日： | 2018-02-02 |
| 发明（设计）人： | 赵庚石;金俊亨;韩圭完;柳济吉 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/57 | 分类号： | B23K26/57;B23K26/402;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司11204 | 代理人： | 余朦,杨莘 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 衬底 分离 装置 使用 方法 | ||
1.一种衬底分离装置，用于分离包括第一衬底和附接至所述第一衬底的第二衬底的衬底组件，所述衬底分离装置包括：
激光照射器，沿第一方向照射第一激光束；
激光分光器，将所述第一激光束分成沿第一方向行进的第二激光束和沿不同于所述第一方向的第二方向行进的第三激光束；以及
方向变换器，改变所述第二激光束或所述第三激光束的方向；
其中，所述第二激光束和所述第三激光束具有不同的焦深；
其中，所述第一衬底包括与所述第二衬底相邻的第一表面和与所述第一表面相对的第二表面；
其中，所述第二激光束照射至所述第一表面以分离所述第一衬底和所述第二衬底；以及
其中，所述第三激光束照射至所述第二表面以清洁所述第二表面。
2.如权利要求1所述的装置，其中所述激光分光器使所述第一激光束的一部分沿所述第一方向透射而形成所述第二激光束，使所述第一激光束的另一部分沿不同于所述第一方向的所述第二方向反射而形成所述第三激光束。
3.如权利要求1所述的装置，其中所述第二激光束和所述第三激光束以预定的角度照射至与所述衬底组件的顶面垂直的表面。
4.如权利要求1所述的装置，其中所述方向变换器将所述第二激光束的方向改变至不同于所述第一方向的第三方向，所述第三方向和所述第二方向彼此平行。
5.如权利要求1所述的装置，其中所述方向变换器将所述第三激光束的方向改变至不同于所述第二方向的第三方向，所述第一方向和所述第三方向彼此平行。
6.如权利要求1所述的装置，还包括焦点调节器，所述焦点调节器调节所述第一激光束、所述第二激光束或所述第三激光束的焦点。
7.如权利要求6所述的装置，其中所述焦点调节器包括对所述第二激光束的焦点进行调节的第一光学系统和对所述第三激光束的焦点进行调节的第二光学系统。
8.如权利要求1所述的装置，其中所述方向变换器包括反光镜。
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