[发明专利]半导体设备的远程控制中基于标签的通信方法

说明书

技术领域

  本发明涉及网络通讯协议技术领域。在基于SEMI标准的SECS通讯中，使用由SEMI标准E5规定的SECS II信息格式；具体地说，本发明在SEMI标准E5的基础之上，规定了一种实施SECS II信息的方法。

背景技术

   半导体制造生产线要求高清洁度、高无尘，尤其在晶圆制造产线上，大部分制造设备工作在高真空状态中，人工操作容易造成有害气体的泄漏；随着制造工艺复杂程度的增加，每个制程开始前与结束后都会有一定数量的数据在设备与制造执行系统和其它软件系统（如先进制程系统等）之间交互，人工输入这些数据已不可能，而且生产线上的设备一般来自不同的设备制造商，设备上使用的软件系统和技术不一样，这给产线的自动化带来一定的困难。为此，国际半导体行业协会SEMI推出了很多标准，以指导设备厂商和生产线单位的自动化， 实现不同设备、工艺、流程等的集成。以SEMI标准为框架的自动化集成，不但能行之有效地解决这些问题，而且给生产线带来生产率的提高、良率的改进等优点，是现在和今后半导体产线生产自动化的必然趋势。

SECS （SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD的缩写）通讯是指在SECS协议（SEMI标准E4、E37）下，使用SECS信息格式（由SEMI标准E5定义）来进行设备与产线软件之间的通讯，是实现众多不同设备在产线上自动化集成的基础。

半导体生产线上众多设备的操作和控制、生产数据的交互，都是通过SECS通讯来实现的。国际半导体行业SEMI标准E4、E5、E37分别规定了SECS通讯的协议和格式，其中E5规定了SECS信息的定义及其含义，但是并没有给出实施的方法或者途径，从而出现了诸多不同的实施方法，如近年出现的使用XML格式方法，这种方法的缺点是没有使用SEMI标准E5中定义了SECS信息格式，使得发送的信息与实际定义的格式之间出入很大，而且没有E5中的定义那样直观、易读；目前国际上普遍使用的，还是15年前的方法途径，也就是使用E5中的格式定义，但是在定义中引入结构体、前函数、后函数、一般标签等等，现有技术的标签法则是: 对于一个SECS信息，可以使用标签，也可以不使用标签， 标签不能完全鉴别SECS信息模板， 标签与SECS信息模板不是一一对应关系。这种方法的缺点是，它使得SECS通讯的实施变得复杂，而且设备的控制系统需要处理SECS信息本身，但是设备的控制系统仅对SECS信息中的设备数据或者指令数据感兴趣，完全没有必要知道SECS信息中的辅助数据，这种方法是基于15年前的软件技术，适合于结构性的计算机编程， 但是， 近10年内面向对象软件技术得到了充分的发展，这个技术已经无法与之完全匹配了。 

发明内容

    本发明提供一种能够降低SECS通讯协议与设备控制系统之间耦合性的半导体设备的远程控制中基于标签的通信方法。

本发明的技术解决方案如下：

一种半导体设备的远程控制中基于标签的通信方法，先建立SECS信息模板集合，然后建立设备端和主机端的SECS连接，再进行设备端和主机端之间的SECS信息发送和接收。

与现有技术相比，本发明具有如下优点：

通过使用本发明，可以实现SECS协议软件的国产化，实现众多生产设备、生产工艺、生产计划、产品种类之间的自动化集成，提高半导体生产线的生产能力、生产率。

   尽管目前一般的设备均采用HSMS通讯方式，但是仍有相当数量的旧设备仅使用RS232通讯方式；本发明通过使用标签方法，把HSMS和RS232方式结合起来，从而实现使用同一个SECS通讯平台来操作控制新旧设备，提高了半导体工厂的自动化水平。

   从技术角度来说，通过上述标签方法，实现了SECS通讯协议与设备控制系统之间的顺利交接，并最大限度地降低了它们之间的耦合性，从而可以充分利用面向对象技术，极大地简化了SECS协议的设计和编程；而现有技术中，对于一个SECS信息，可以使用标签，也可以不使用标签，所以无法使用标签来作为上下贯通的对应手段，导致SECS信息与标签之间的不对应，使得每个SECS信息都必须有个类来表达（在设备端，往往会有100多个不同的SECS信息定义），底层SECS协议还必须使用具体的SECS信息本身来作为实例，往返于SECS协议模块和上层应用模块之间，不但耦合程度高，而且不能充分利用面向对象技术。 

附图说明

    图1为SECS通讯结构图。

    图2为SECS通讯总体步骤图。