[发明专利]半导体设备的远程控制中基于标签的通信方法

权利要求书

1.   一种半导体设备的远程控制中基于标签的通信方法，其特征在于，先建立SECS信息模板集合，然后建立设备端和主机端的SECS连接，再进行设备端和主机端之间的SECS信息发送和接收。

2.根据权利要求1所述的半导体设备的远程控制中基于标签的通信方法，其特征在于，所述SECS信息模板集合包括设备端SECS信息模板集合和主机端SECS信息模板集合，设备端SECS信息模板集合包括多个设备端SECS信息模板，设备端SECS信息模板分别为每个生产功能配置，主机端SECS信息模板集合包括多个主机端SECS信息模板集合，设备端SECS信息模板和主机端SECS信息模板采用以下方法获得：

SECS信息模板包括： 该生产功能所对应的国际SEMI标准E5中的SECS信息格式，以及该信息格式必需具有的所有标签，所述必需具有的所有标签包括一个信息标签和必需具有的所有变量数据项标签，所述必需具有的所有变量数据项标签是指该SECS信息格式拥有的所有变量数据项标签，每个变量数据项必需被赋予一个变量数据项标签；信息标签在SECS信息模板集合中与其它信息标签相比必须具有唯一性，实现信息标签唯一性的方法如下：把英文字母s、SECS信息格式的分类整数、英文字母f、SECS信息格式的功能整数、英文字母v、整数n，依顺序组成信息标签，所述整数n是指当前SECS信息格式在SECS信息模板集合中的次序，如果是第一个，整数n等于1，如果是第二个，整数n等于2，以此类推； 

所有变量数据项标签必须在当前SECS信息模板范围内唯一，实现变量数据项标签唯一性的方法如下：把英文字母v、整数m依顺序组成变量数据项标签，所述整数m是指当前变量数据项在当前SECS信息格式中的次序，如果是第一个变量数据项，整数m等于1，如果是第二个变量数据项，整数m等于2，以此类推。

3.根据权利要求1所述的半导体设备的远程控制中基于标签的通信方法，其特征在于，设备端和主机端的SECS连接的建立方法如下：

  在设备端建立服务器型网络层套接, 并开始收听，如果套接建立不成功，则退出当前步骤；在主机端建立客户型网络套接，如果套接建立不成功，则退出当前步骤，主机端启动连接请求间隔计时器（HSMS方式为T6， RS232方式为T2），向设备端发送SECS连接请求数据信息（HSMS方式为SELECT.req, RS232方式为ENQ，分别由E37和E4定义），如果主机端在间隔计时器内收到设备端许可连接的数据信息（HSMS方式为SELECT.res, RS232方式为EOT，分别由E37和E4定义）,连接成功；其它情况均为连接失败；设备端如果是处于连接状态，便拒绝回复。