[发明专利]彩色滤光单元宽度的测量方法以及液晶面板的制作方法

说明书

技术领域

本发明属于液晶面板加工技术领域，涉及一种彩色滤光单元宽度的测量方法，尤其是一种将彩色滤光片整合到薄膜晶体管阵列基板上（Color filter on array，COA）的液晶面板中，测量彩色滤光单元的宽度的方法。

背景技术

液晶显示器（Liquid Crystal Display，LCD），为平面超薄的显示设备，它由一定数量的彩色或黑白像素组成，放置于光源或者反射面前方。液晶显示器功耗很低，并且具有高画质、体积小、重量轻的特点，因此倍受大家青睐，成为显示器的主流。目前液晶显示器是以薄膜晶体管（Thin Film Transistor，TFT）液晶显示器为主，液晶面板是液晶显示器的主要组件，目前应用的液晶面板的结构主要可以分为两种类型，一种是有薄膜晶体管阵列基板和彩色滤光片基板构成的传统的液晶面板，另一种是彩色滤光片直接整合到薄膜晶体管阵列基板上，即（Color filter on array，COA）技术的液晶面板。

如图1所示的一种采用COA技术的液晶面板，其包括上玻璃基板10、下玻璃基板20以及上玻璃基板10和下玻璃基板20之间的液晶层30。下玻璃基板20上靠近液晶层30的一侧设置有多个TFT201，每个TFT201对应连接有一像素电极205，通常像素电极205上还设置有透明的钝化层（附图中未标示出）。由于采用了COA技术，TFT201和像素电极205之间还设置有彩色滤光片203，所述彩色滤光片203包括红色滤光单元203R、绿色滤光单元203G和蓝色滤光单元203B；其中，每一像素电极205分别对应一个红色滤光单元203R或绿色滤光单元203G或蓝色滤光单元203B；其中，TFT201与彩色滤光片203之间由第一绝缘保护层202隔离，彩色滤光片203与像素电极205之间由第二绝缘保护层204隔离；在上玻璃基板10靠近液晶层30的一侧设置有黑色矩阵101阵列，每一黑色矩阵101分别对应于两个滤光单元203R、203G、203B的相邻区域，防止光线泄露；黑色矩阵101阵列上覆盖有ITO共电极102。

在这种结构的液晶面板中，彩色滤光片203制作于TFT201上，在液晶面板的加工过程中，彩色滤光片203是采用光刻工艺制备，三种不同颜色的滤光单元203R、203G、203B分三道光刻工序先后制作，为了防止光线泄露，需要将相邻的两个滤光单元203R、203G、203B紧密结合连接。如图2所示，以红色滤光单元203R和绿色滤光单元203G为例，两个滤光单元203R和203G的连接部紧密结合连接，并且两个滤光单元在边缘处层叠,层叠的宽度为d1。由于两个相邻的滤光单元的连接部相互层叠，每个滤光单元203R、203G、203B的边缘无法抓取，导致滤光单元203R、203G、203B的宽度无法准确测量。

发明内容

鉴于现有技术存在的不足，本发明提供了一种彩色滤光单元宽度的测量方法，解决了由于两个相邻的滤光单元的边缘相互层叠而无法准确测量其宽度的问题。

为了达到上述的目的，本发明采用了如下的技术方案：

一种彩色滤光单元宽度的测量方法，用于在液晶面板加工工艺中测量彩色滤光单元的宽度，其特征在于，包括步骤：

提供一具有薄膜晶体管阵列的下玻璃基板；

应用光刻工艺在薄膜晶体管阵列上制备彩色滤光片和量测模块；其中，所述彩色滤光片位于液晶面板的有效区域内，所述彩色滤光片包括红色滤光单元、绿色滤光单元和蓝色滤光单元；所述量测模块位于液晶面板的有效区域外；所述量测模块与滤光单元具有相同的宽度；

通过测量有效区域外的所述量测模块的宽度，获得有效区域内的滤光单元的宽度。

优选地，所述量测滤光单元的数量至少为一个；所述量测模块包括红色量测单元、绿色量测单元和蓝色量测单元；并且，所述红色量测单元与所述红色滤光单元具有相同的宽度，所述绿色量测单元与所述绿色滤光单元具有相同的宽度，所述蓝色量测单元与所述蓝色滤光单元具有相同的宽度；其中，所述滤光单元阵列排布于液晶面板的有效区域内，并且，两个相邻的滤光单元的边缘相互层叠；按照颜色顺序，所述量测单元与所述滤光单元具有相同的排列顺序，并且两个相邻的量测单元的边缘的间距为d，d≥11μm；通过量测有效区域外的红色量测单元、绿色量测单元和蓝色量测单元的宽度，分别获得有效区域内的红色滤光单元、绿色滤光单元和蓝色滤光单元的宽度。

优选地，两个相邻的量测单元的边缘的间距d的取值范围是11～30μm。

优选地，两个相邻的量测单元的边缘的间距d为11μm。