[发明专利]彩色滤光单元宽度的测量方法以及液晶面板的制作方法在审
申请号: | 201310443424.0 | 申请日: | 2013-09-26 |
公开(公告)号: | CN103487969A | 公开(公告)日: | 2014-01-01 |
发明(设计)人: | 袁继旺 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/1333 | 分类号: | G02F1/1333;G02F1/1335;G01B21/02 |
代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 杨林;李友佳 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 彩色 滤光 单元 宽度 测量方法 以及 液晶面板 制作方法 | ||
1.一种彩色滤光单元宽度的测量方法,用于在液晶面板加工工艺中测量彩色滤光单元的宽度,其特征在于,包括步骤:
提供一具有薄膜晶体管(201)阵列的下玻璃基板(20);
应用光刻工艺在薄膜晶体管(201)阵列上制备彩色滤光片(203)和量测模块(303);其中,所述彩色滤光片(203)位于液晶面板的有效区域(40)内,所述彩色滤光片(203)包括红色滤光单元(203R)、绿色滤光单元(203G)和蓝色滤光单元(203B);所述量测模块(303)位于液晶面板的有效区域(40)外;所述量测模块(303)与滤光单元(203R、203G、203B)具有相同的宽度;
通过测量有效区域(40)外的所述量测模块(303)的宽度,获得有效区域(40)内的滤光单元(203R、203G、203B)的宽度。
2.根据权利要求1所述的测量方法,其特征在于,所述量测滤光单元(303)的数量至少为一个;所述量测模块(303)包括红色量测单元(303R)、绿色量测单元(303G)和蓝色量测单元(303B);并且,所述红色量测单元(303R)与所述红色滤光单元(203R)具有相同的宽度,所述绿色量测单元(303G)与所述绿色滤光单元(203G)具有相同的宽度,所述蓝色量测单元(303B)与所述蓝色滤光单元(203B)具有相同的宽度;其中,
所述滤光单元(203R、203G、203B)阵列排布于液晶面板的有效区域(40)内,并且,两个相邻的滤光单元(203R、203G、203B)的边缘相互层叠;按照颜色顺序,所述量测单元(303R、303G、303B)与所述滤光单元(203R、203G、203B)具有相同的排列顺序,并且两个相邻的量测单元(303R、303G、303B)的边缘的间距为d,d≥11μm;
通过量测有效区域(40)外的红色量测单元(303R)、绿色量测单元(303G)和蓝色量测单元(303B)的宽度,分别获得有效区域(40)内的红色滤光单元(203R)、绿色滤光单元(203G)和蓝色滤光单元(203B)的宽度。
3.根据权利要求2所述的测量方法,其特征在于,两个相邻的量测单元(303R、303G、303B)的边缘的间距d的取值范围是11~30μm。
4.根据权利要求2所述的测量方法,其特征在于,两个相邻的量测单元(303R、303G、303B)的边缘的间距d为11μm。
5.根据权利要求2所述的测量方法,其特征在于,所述量测模块(303)的数量为4个,分两组排列于所述有效区域(40)外的两侧。
6.根据权利要求2所述的测量方法,其特征在于,所述量测模块(303)的数量为6个,分两组排列于所述有效区域(40)外的两侧。
7.一种液晶面板的制作方法,包括将彩色滤光片整合到薄膜晶体管阵列基板上,其特征在于,包括步骤:
在玻璃基板上制备薄膜晶体管(201)阵列;
应用光刻工艺在薄膜晶体管(201)阵列上制备彩色滤光片(203)和量测模块(303);其中,所述彩色滤光片(203)位于液晶面板的有效区域(40)内,所述彩色滤光片(203)包括红色滤光单元(203R)、绿色滤光单元(203G)和蓝色滤光单元(203B);所述量测模块(303)位于液晶面板的有效区域(40)外;所述量测模块(303)与滤光单元(203R、203G、203B)具有相同的宽度;
通过测量有效区域(40)外的所述量测模块(303)的宽度,获得有效区域(40)内的滤光单元(203R、203G、203B)的宽度;
去除有效区域(40)外的量测模块(303),在有效区域(40)内获得液晶面板的彩色滤光片(203)。
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