[发明专利]一种多晶硅行业废气水洗处理方法及装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种多晶硅生产过程中产生的含氯硅烷废气无公害处理水洗处理方法，以及一种多晶硅生产过程中产生的含氯硅烷废气的水洗处理装置。

背景技术

多晶硅行业生产过程产生的废气中含大量氯硅烷，为了使废气能够得到有效处理以及使尾气能够达标排放，目前国内主要采用传统的水洗工艺进行处理，即用工业水对烟气进行洗涤，水解废气中的氯硅烷。工业水洗涤法虽然对氯硅烷有较高的水解效率，但是氯硅烷水解后大量的氯化氢和二氧化硅固体。其中部分氯化氢在溶于工业水的同时，会从水中逃逸至大气中，对环境造成污染；并且工业水吸收氯化氢后形成的工业废水显酸性，对后续的污水处理造成极大的困难，而产生的二氧化硅固体更是难于从系统中清除。随着多晶硅行业的发展，含氯硅烷废气、废液的产生量也与日俱增，含氯硅烷废气、废液的无害化处理具有越来越广阔的市场前景。

发明内容

本发明涉及一种多晶硅生产过程中产生的含氯硅烷废气水洗处理方法及装置，实现对烟气中氯化氢气体的吸收和最终脱除以保证烟气能够满足国家环保标准的要求。

实现本发明目的的技术方案：一种多晶硅行业废气水洗处理装置，其包括废气缓冲罐，与废气缓冲罐的入口连接的含氯硅烷废气供应管路，与废气缓冲罐的出口连接的正常废气喷淋系统、事故废气喷淋系统及应急水洗系统；

所述的正常废气喷淋系统包括正常废气喷林塔一和正常废气喷林塔二，虹吸罐一和虹吸罐二、正常废气喷淋循环泵一和正常废气喷淋塔循环泵二及碱液池一和碱液池二；其中，废气缓冲罐的出口与正常废气喷林塔一的入口相连，正常废气喷林塔一的出口与碱液池一的入口相连，虹吸罐一的入口与碱液池一的出口相连，虹吸罐一的出口与正常废气喷淋循环泵一的入口相连，正常废气喷淋循环泵一的出口与正常废气喷淋塔一塔顶的喷淋口相连；废气缓冲罐的出口与正常废气喷林塔二的入口相连，正常废气喷林塔二的出口与碱液池二的入口相连，虹吸罐二的入口与碱液池二的出口相连，虹吸罐二的出口与正常废气喷淋塔循环泵二的入口相连，正常废气喷淋塔循环泵二的出口与正常废气喷林塔二塔顶的喷淋口相连；

所述的事故废气喷淋系统包括事故废气喷淋塔一和事故废气喷林塔二，虹吸罐三和虹吸罐四、事故废气喷淋塔循环泵一和事故废气喷淋塔循环泵二；其中，废气缓冲罐的出口与事故废气喷淋塔一的入口相连，事故废气喷淋塔一的出口与碱液池一的入口相连，虹吸罐三的入口与碱液池一的出口相连，虹吸罐三的出口与事故废气喷淋循环泵一的入口相连，事故废气喷淋循环泵一的出口与事故废气喷淋塔一塔顶的喷淋口相连；废气缓冲罐的出口与事故废气喷淋塔二的入口相连，事故废气喷淋塔二的出口与碱液池二的入口相连，虹吸罐四的入口与碱液池二的出口相连，虹吸罐四的出口与事故废气喷淋塔循环泵二的入口相连，事故废气喷淋塔循环泵二的出口与事故废气喷林塔二塔顶的喷淋口相连；

所述的应急水洗系统包括事故废气输送管线和应急水洗池一、应急水洗池二；其中，废气缓冲罐的出口通过多根管线进入应急水洗池一和应急水洗池二液面一下；

所述的正常废气喷林塔一和正常废气喷林塔二的塔顶出气口、事故废气喷淋塔一和事故废气喷林塔二的塔顶出气口连接水封罐的入口，水封罐的出气口与大气相通。

如上所述的一种多晶硅行业废气水洗处理装置，其所述的正常废气喷淋系统、事故废气喷淋系统及应急水洗系统各设备之间均由衬氟管道连接。

如上所述的一种多晶硅行业废气水洗处理装置，其所述的正常废气喷林塔一和正常废气喷林塔二为玻璃钢材料，喷淋采用两级空锥喷淋。

如上所述的一种多晶硅行业废气水洗处理装置，其所述的事故废气喷林塔一和事故废气喷林塔二为玻璃钢材料，喷淋采用三级空锥喷淋。

如上所述的一种多晶硅行业废气水洗处理装置，其所述的碱液池一和碱液池二为水泥池内镶衬防腐砖，液体为10～30％氢氧化钠溶液。

如上所述的一种多晶硅行业废气水洗处理装置，其所述的应急水洗池一和应急水洗池二为水泥池内镶衬防腐砖，液体为15～45％氢氧化钠溶液。

本发明所述的一种多晶硅行业废气水洗处理方法，其包括如下步骤：

（a）通过含氯硅烷废气供应管路将含氯硅烷废气输送至废气缓冲罐，再通过废气供应管路将废气输送至正常废气喷林塔一，废气自下而上在塔内运行；碱液池一中存放10～30％碱液，碱液作为喷淋液经虹吸罐一、由正常废气喷淋循环泵一送至正常废气喷林塔一塔顶，喷淋液自上而下与废气逆流接触，处理后的气体经正常废气喷林塔一的塔顶的水封罐排入大气；