[发明专利]一种多晶硅行业废气水洗处理方法及装置

权利要求书

1.一种多晶硅行业废气水洗处理装置，其特征在于，该装置包括废气缓冲罐（1），与废气缓冲罐（1）的入口连接的含氯硅烷废气供应管路，与废气缓冲罐（1）的出口连接的正常废气喷淋系统、事故废气喷淋系统及应急水洗系统；

所述的正常废气喷淋系统包括正常废气喷林塔一（2）和正常废气喷林塔二（6），虹吸罐一（8）和虹吸罐二（15）、正常废气喷淋循环泵一（7）和正常废气喷淋塔循环泵二（16）及碱液池一（9）和碱液池二（14）；其中，废气缓冲罐（1）的出口与正常废气喷林塔一（2）的入口相连，正常废气喷林塔一（2）的出口与碱液池一（9）的入口相连，虹吸罐一（8）的入口与碱液池一（9）的出口相连，虹吸罐一（8）的出口与正常废气喷淋循环泵一（7）的入口相连，正常废气喷淋循环泵一（7）的出口与正常废气喷淋塔一（2）塔顶的喷淋口相连；废气缓冲罐（1）的出口与正常废气喷林塔二（6）的入口相连，正常废气喷林塔二（8）的出口与碱液池二（14）的入口相连，虹吸罐二（15）的入口与碱液池二（14）的出口相连，虹吸罐二（15）的出口与正常废气喷淋塔循环泵二（16）的入口相连，正常废气喷淋塔循环泵二（16）的出口与正常废气喷林塔二（6）塔顶的喷淋口相连；

所述的事故废气喷淋系统包括事故废气喷淋塔一（3）和事故废气喷林塔二（5），虹吸罐三（10）和虹吸罐四（13）、事故废气喷淋塔循环泵一（11）和事故废气喷淋塔循环泵二（12）；其中，废气缓冲罐（1）的出口与事故废气喷淋塔一（3）的入口相连，事故废气喷淋塔一（3）的出口与碱液池一（9）的入口相连，虹吸罐三（10）的入口与碱液池一（9）的出口相连，虹吸罐三（10））的出口与事故废气喷淋循环泵一（11）的入口相连，事故废气喷淋循环泵一（11）的出口与事故废气喷淋塔一（3）塔顶的喷淋口相连；废气缓冲罐（1）的出口与事故废气喷淋塔二（5）的入口相连，事故废气喷淋塔二（5）的出口与碱液池二（14）的入口相连，虹吸罐四（13）的入口与碱液池二（14）的出口相连，虹吸罐四（13）的出口与事故废气喷淋塔循环泵二（12）的入口相连，事故废气喷淋塔循环泵二（12）的出口与事故废气喷林塔二（5）塔顶的喷淋口相连；

所述的应急水洗系统包括事故废气输送管线和应急水洗池一（17）、应急水洗池二（18）；其中，废气缓冲罐（1）的出口通过多根管线进入应急水洗池一（17）和应急水洗池二（18）液面一下；

所述的正常废气喷林塔一（2）和正常废气喷林塔二（6）的塔顶出气口、事故废气喷淋塔一（3）和事故废气喷林塔二（5）的塔顶出气口连接水封罐（4）的入口，水封罐（4）的出气口与大气相通。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅行业废气水洗处理装置，其特征在于：所述的正常废气喷淋系统、事故废气喷淋系统及应急水洗系统各设备之间均由衬氟管道连接。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅行业废气水洗处理装置，其特征在于：所述的正常废气喷林塔一（2）和正常废气喷林塔二（6）为玻璃钢材料，喷淋采用两级空锥喷淋。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅行业废气水洗处理装置，其特征在于：所述的事故废气喷林塔一（3）和事故废气喷林塔二（5）为玻璃钢材料，喷淋采用三级空锥喷淋。

5.根据权利要求1所述的一种多晶硅行业废气水洗处理装置，其特征在于：所述的碱液池一（9）和碱液池二（14）为水泥池内镶衬防腐砖，液体为10～30％氢氧化钠溶液。

6.根据权利要求1所述的一种多晶硅行业废气水洗处理装置，其特征在于：所述的应急水洗池一（17）和应急水洗池二（18）为水泥池内镶衬防腐砖，液体为15～45％氢氧化钠溶液。