[发明专利]一种真空镀膜系统及其真空闸门装置

说明书

技术领域

本发明涉及真空镀膜领域，尤其涉及一种真空镀膜系统及其真空闸门装置。

背景技术

真空闸门的主要功能是实现真空腔室与腔室或真空腔室与外界之间的隔绝和联通，其广泛应用于各种真空镀膜装置。

在现代真空镀膜技术中，为了提高膜层质量，减低交差污染和是渗透污染对膜层质量的影响，采用了一种回型真空腔室成为真空系统的必然发展趋势。其具体结构是：在一个真空腔室的内部，设置了多个工艺反应室，工艺反应室和真空腔室之间设置了一个多通道密封结构真空闸阀，用于实现工艺反应室和真空腔室之间的隔绝和联通。当进行工艺时，闸阀门关闭，工艺室和真空腔室处于两种独立的真空环境中，这就大大的降低了外部杂质进入工艺室的几率，进而避免了膜层的渗透污染。在该种镀膜系统，一种合适的真空闸阀装置就显得非常重要。现有的真空闸阀装置中，一方面，其结构过于复杂，且需要的空间较大，成本高且不利用系统安装维护，另一方面，由于工艺反应室具有高温和腐蚀性，而现有闸阀装置采用的O圈作为密封材料，因而不能满足该种镀膜系统的闸阀需求。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于，提供一种真空镀膜系统及其真空闸门装置，结构简单，占用空间小，耐腐蚀耐高温，便于加工装配，且可有效保证密封效果。

为了解决上述技术问题，一方面，本发明的实施例提供了一种真空闸门装置，用于开关真空闸门板上的开口，其特征在于，所述真空闸门装置包括支撑座、弹性密封机构、双摇杆机构及旋转驱动件；

所述支撑座相对所述真空闸门板固定设置；

所述弹性密封机构包括固定件、金属密封板及弹性组件；所述固定件位于所述金属密封板远离所述真空闸门板的一侧；所述金属密封板为平板状，用于与所述真空闸门板面面贴合以将所述开口封闭；所述弹性组件连接在所述固定件与所述金属密封板之间，用于提供弹力使所述金属密封板压紧于所述真空闸门板；

所述双摇杆机构连接在所述弹性密封机构与所述旋转驱动件之间，其包括主动摇杆、从动摇杆、连杆，所述主动摇杆的一端传动连接于所述旋转驱动件、另一端转动连接于所述连杆，所述从动摇杆的两端分别转动连接于所述支撑座及所述连杆；所述连杆与所述固定件固定连接；

所述旋转驱动件固定于所述支撑座，用于带动所述主动摇杆摆动，并驱动所述弹性密封机构与所述真空闸门板抵接或分离。

其中，所述金属密封板的厚度小于或等于4mm。

其中，所述金属密封板为长条状，所述金属密封板上靠近所述固定件的板面上设有加强筋；所述加强筋为条状，沿所述金属密封板的宽度方向设置；所述弹性组件连接至所述加强筋。

其中，所述弹性组件包括压簧及连接柱，所述固定件上设有连接通孔，所述连接柱沿自身轴向滑动穿设所述连接通孔，所述连接柱的一端与所述金属密封板固定连接，另一端设有连接帽，用于防止所述连接柱从所述连接通孔中滑出；所述压簧套设在所述连接柱上，且压缩设置在所述金属密封板与所述固定件之间。

其中，所述弹性组件包括两个对称设置的V形弹片，各所述V形弹片的两端分别固定连接至所述固定件及所述金属密封板。

其中，所述弹性密封机构包括的弹性组件为多个，均布于所述金属密封板与所述固定件之间。

其中，所述金属密封板为长条状；所述固定件为与所述金属密封板相配合的长条状；各所述弹性密封机构中，两所述弹性组件为一组，每组中的两弹性组件沿所述金属密封板的宽度方向排布设置；多组弹性组件沿所述金属密封板的长度方向排布。

其中，所述金属密封板为长条状；所述固定件为与所述金属密封板相配合的长条状；所述双摇杆机构为两组，两所述双摇杆机构的连杆相互平行，且分别固定连接至所述固定件长度方向上的两端；

所述真空闸门装置还包括主动转轴和从动转轴；两组所述双摇杆机构的主动摇杆均固定连接于所述主动转轴，所述主动转轴传动连接于所述旋转驱动件；所述从动转轴转动连接于支撑座，两组所述双摇杆机构的从动摇杆分别固定连接至从动转轴。

其中，真空闸门装置还包括辅助双摇杆机构，辅助双摇杆机构包括辅助主摇杆、辅助从摇杆及辅助连杆；所述辅助主摇杆的一端固定连接至所述主动转轴、另一端转动连接至所述辅助连杆；所述辅助从摇杆的一端固定连接至所述从动转轴、另一端转动连接至所述辅助连杆。

另一方面，本发明提供了一种真空镀膜系统，包括前述的真空闸门装置及真空闸门板，所述真空闸门装置与所述真空闸门板对应配合，用于开关所述真空闸门板上的开口。