[发明专利]一种真空镀膜系统及其真空闸门装置

权利要求书

1.一种真空闸门装置，用于开关真空闸门板上的开口，其特征在于，所述真空闸门装置包括支撑座、弹性密封机构、双摇杆机构及旋转驱动件；

所述支撑座相对所述真空闸门板固定设置；

所述弹性密封机构包括固定件、金属密封板及弹性组件；所述固定件位于所述金属密封板远离所述真空闸门板的一侧；所述金属密封板为平板状，用于与所述真空闸门板面面贴合以将所述开口封闭；所述弹性组件连接在所述固定件与所述金属密封板之间，用于提供弹力使所述金属密封板压紧于所述真空闸门板；

所述双摇杆机构连接在所述弹性密封机构与所述旋转驱动件之间，其包括主动摇杆、从动摇杆及连杆，所述主动摇杆的一端传动连接于所述旋转驱动件、另一端转动连接于所述连杆，所述从动摇杆的两端分别转动连接于所述支撑座及所述连杆；所述连杆与所述固定件固定连接；

所述旋转驱动件固定于所述支撑座，用于带动所述主动摇杆摆动，并驱动所述弹性密封机构与所述真空闸门板抵接或分离。

2.根据权利要求1所述的真空闸门装置，其特征在于，所述金属密封板的厚度小于或等于4mm。

3.根据权利要求1所述的真空闸门装置，其特征在于，所述金属密封板为长条状，所述金属密封板上靠近所述固定件的板面上设有加强筋；所述加强筋为条状，沿所述金属密封板的宽度方向设置；所述弹性组件连接至所述加强筋。

4.根据权利要求1所述的真空闸门装置，其特征在于，所述弹性组件包括压簧及连接柱，所述固定件上设有连接通孔，所述连接柱沿自身轴向滑动穿设所述连接通孔，所述连接柱的一端与所述金属密封板固定连接，另一端设有连接帽，用于防止所述连接柱从所述连接通孔中滑出；所述压簧套设在所述连接柱上，且压缩设置在所述金属密封板与所述固定件之间。

5.根据权利要求1所述的真空闸门装置，其特征在于，所述弹性组件包括两个对称设置的V形弹片，各所述V形弹片的两端分别固定连接至所述固定件及所述金属密封板。

6.根据权利要求1所述的真空闸门装置，其特征在于，所述弹性密封机构包括的弹性组件为多个，均布于所述金属密封板与所述固定件之间。

7.根据权利要求6所述的真空闸门装置，其特征在于，所述金属密封板为长条状；所述固定件为与所述金属密封板相配合的长条状；各所述弹性密封机构中，两所述弹性组件为一组，每组中的两弹性组件沿所述金属密封板的宽度方向排布设置；多组弹性组件沿所述金属密封板的长度方向排布。

8.根据权利要求1所述的真空闸门装置，其特征在于，所述金属密封板为长条状；所述固定件为与所述金属密封板相配合的长条状；所述双摇杆机构为两组，两所述双摇杆机构的连杆相互平行，且分别固定连接至所述固定件长度方向上的两端；

所述真空闸门装置还包括主动转轴和从动转轴；两组所述双摇杆机构的主动摇杆均固定连接于所述主动转轴，所述主动转轴传动连接于所述旋转驱动件；所述从动转轴转动连接于支撑座，两组所述双摇杆机构的从动摇杆分别固定连接至从动转轴。

9.根据权利要求8所述的真空闸门装置，其特征在于，真空闸门装置还包括辅助双摇杆机构，辅助双摇杆机构包括辅助主摇杆、辅助从摇杆及辅助连杆；所述辅助主摇杆的一端固定连接至所述主动转轴、另一端转动连接至所述辅助连杆；所述辅助从摇杆的一端固定连接至所述从动转轴、另一端转动连接至所述辅助连杆。

10.一种真空镀膜系统，其特征在于，包括权利要求1至9任一项所述的真空闸门装置及真空闸门板，所述真空闸门装置与所述真空闸门板对应配合，用于开关所述真空闸门板上的开口。