[发明专利]匹配网络的损耗功率标定方法及系统

权利要求书

1.一种匹配网络的损耗功率标定系统，其特征在于，包括：

射频信号源，用于产生射频信号；

第一功率计，所述第一功率计与所述射频信号源相连，用于测量所述射频信号的功率；

匹配网络，所述匹配网络与所述第一功率计相连，所述匹配网络包括电感；

示波器，所述示波器与所述匹配网络相连，用于测量所述电流探头的输出电压；

模拟负载模块，所述模拟负载模块与所述匹配网络相连，用于测量所述模拟负载模块中50欧姆负载的损耗功率；以及

处理器，用于根据所述第一功率计的测量结果、所述示波器的测量结果以及所述50欧姆负载的损耗功率得到所述匹配网络的比例系数。

2.如权利要求1所述的匹配网络的损耗功率标定系统，其特征在于，所述匹配网络还包括：

第一电容，所述第一电容的一端与所述电感的一端相连另一端接地，用于调整所述模拟负载模块的阻抗；

电流探头，用于检测所述电感的电流；以及

第二电容，所述第二电容的一端与所述电感的另一端相连，用于调整所述模拟负载模块的阻抗。

3.如权利要求1所述的匹配网络的损耗功率标定系统，其特征在于，所述模拟负载模块具体包括：

第三电容，所述第三电容与所述匹配网络相连，用于调整所述50欧姆负载的阻抗；

第二功率计，所述第二功率计与所述第三电容相连以测量所述50欧姆负载的功率；以及

50欧姆负载，所述50欧姆负载与所述第二功率计相连。

4.如权利要求1所述的匹配网络的损耗功率标定系统，其特征在于，所述第二电容与所述电感串联或并联。

5.如权利要求1所述的匹配网络的损耗功率标定系统，其特征在于，所述电流探头与所述示波器相连，且所述电流探头安装在所述电感的上端。

6.如权利要求1所述的匹配网络的损耗功率标定系统，其特征在于，所述处理器通过如下公式获得所述匹配网络的比例系数，所述公式为，

Pmatch=k2RLVprobe2=AVprobe2,]]>

其中，P_match为匹配网络的损耗功率，k为电流探头的比例系数，R_L为电感在射频频率下的表面趋肤电阻，V_probe为电流探头的检测电压，A为匹配网络的比例系数。

7.一种匹配网络的损耗功率标定方法，其中，所述匹配网络为如权利要求1-6任一项所述的匹配网络的损耗功率标定系统的匹配网络，所述方法包括以下步骤：

接收所述射频信号源产生的射频信号，并测量所述射频信号的功率；

通过多个电容调整模拟负载的阻抗，当调整到预定阻抗值时，检测所述模拟负载的损耗功率和电流探头的输出电压；

根据所述射频信号的功率和所述模拟负载的损耗功率得到匹配网络的损耗功率；以及

根据所述电流探头的输出电压和所述匹配网络的损耗功率获得所述匹配网络的比例系数。

8.如权利要求7所述的匹配网络的损耗功率标定方法，其特征在于，所述预定阻抗值为50欧姆。

9.如权利要求7所述的匹配网络的损耗功率标定方法，其特征在于，所述匹配网络的比例系数通过如下公式表示，所述公式为，

Pmatch=k2RLVprobe2=AVprobe2,]]>

其中，P_match为匹配网络的损耗功率，k为电流探头的比例系数，R_L为电感在射频频率下的表面趋肤电阻，V_probe为电流探头的检测电压，A为匹配网络的比例系数。