[发明专利]压力检测模块以及具有这种压力检测模块的压力传感器装置

权利要求书

1.一种压力检测模块(100)，所述压力检测模块包括一种容纳部件(110)用于容纳载体衬底(200)，其中所述载体衬底(200)在第一侧(210)上设有压力检测设备(240)，其中所述载体衬底(200)借助与所述第一侧(210)背离的第二侧(220)装入所述容纳部件(110)中并且其中所述载体衬底(200)借助其与所述第一侧(210)背离的所述第二侧(220)固定在容纳槽(112)的底部上，其特征在于，所述容纳部件(110)与所述容纳槽(112)和环绕所述容纳槽(112)的凸缘(114)构造为碟形的并且所述底部具有接触孔(130)，通过所述接触孔可电接通所述载体衬底(200)的在所述接触孔上暴露的接触面(208)。

2.根据权利要求1所述的压力检测模块(100)，其特征在于，在所述载体衬底(200)的所述第二侧上设置至少一个电构件。

3.根据权利要求1所述的压力检测模块(100)，其特征在于，在所述载体衬底(200)的所述第二侧上设置至少一个电子构件。

4.根据权利要求1所述的压力检测模块(100)，其特征在于，所述容纳部件(110)被构造为金属深拉伸部件。

5.根据权利要求1所述的压力检测模块(100)，其特征在于，所述载体衬底是印刷电路板(202)或陶瓷衬底(204)。

6.根据权利要求1所述的压力检测模块(100)，其特征在于，借助密封材料(150)，所述载体衬底(200)被固定在所述容纳槽(112)的所述底部(120)上。

7.根据权利要求6所述的压力检测模块(100)，其特征在于，所述密封材料(150)是密封粘结剂(152)或焊料(154)。

8.根据权利要求6所述的压力检测模块(100)，其特征在于，所述密封材料(150)是密封粘结剂(152)并且所述密封粘结剂(152)如此涂装在所述载体衬底(200)的所述第二侧(220)和所述容纳槽(112)的内侧之间，使得所述容纳槽的设置在所述底部(120)中的所述接触孔(130)通过所述密封粘结剂(152)和所述载体衬底(200)密封。

9.根据权利要求8所述的压力检测模块(100)，其特征在于，所述接触孔(130)通过所述密封粘结剂(152)和所述载体衬底(200)严密密封。

10.根据权利要求8或9所述的压力检测模块(100)，其特征在于，所述容纳部件(110)在其与所述底部(120)相对置的侧上借助隔膜(140)封闭，其中由所述隔膜(140)和所述容纳部件(110)限定的空间以液体填充，所述空间由所述载体衬底(200)和所述密封粘结剂(152)相对所述底部(120)中的所述接触孔(130)密封。

11.根据权利要求10所述的压力检测模块(100)，其特征在于，在所述容纳部件(110)的所述底部(120)中施加可关闭的开口(170)，通过所述可关闭的开口可以将液体注入由所述隔膜(140)和所述容纳部件(110)限定的空间中。

12.根据权利要求1所述的压力检测模块(100)，其特征在于，所述压力检测设备(240)包括施加在所述载体衬底(200)上的压电传感器装置。

13.根据权利要求1所述的压力检测模块(100)，其特征在于，所述压力检测设备(240)包括设置在所述载体衬底(200)上的、具有电容式压力检测的传感器装置。

14.根据权利要求13所述的压力检测模块(100)，其特征在于，所述载体衬底(200)是具有陶瓷基体(260)和具有设置在所述陶瓷基体(260)上的膜片(262)的陶瓷衬底(204)并且所述压力检测设备(240)包括具有设置在所述陶瓷基体(260)上的第一导电面(266)和具有设置在所述膜片(262)上的第二导电面(268)的电容式传感器装置。

15.根据权利要求1所述的压力检测模块(100)，其特征在于，标准真空被包围在所述压力检测设备(240)中。