[发明专利]一种镀膜机坩埚

说明书

技术领域

本发明涉及图像显示领域，尤其涉及一种镀膜机坩埚。

背景技术

有机电致发光器件是一种自发光器件，具有电压低，视角宽、响应速度快、温度适应性好等优势，是新一代的显示技术。

从使用的有机电致发光材料的分子量来看，有机电致发光器件分为小分子有机电致发光器件（OLED）和高分子电致发光器件（PLED），由于分子量的不同，有机电致发光器件的制程也有很大的区别，OLED主要通过热蒸镀方式制备，PLED通过旋涂或者喷墨打印方式制备。

热蒸镀方式主要是在真空环境下（E-5 Pa）加热有机材料，使升华型或者熔融型的有机材料在高温状态下气化，沉积在有薄膜场效应晶体管TFT结构或者阳极结构的基板上。目前主流的蒸镀源主要有点型蒸镀源和线型蒸镀源。点型蒸镀源的空间小，一个镀膜腔体里可以安装很多个点型蒸镀源，可以填入很多种材料，主要用在实验线和早期的量产线。由于线型蒸镀源的材料利用率和膜厚均一性要优于点型蒸镀源，近期建设的量产线大部分使用线性蒸镀源。

有机材料的蒸发温度与其裂解温度相差很小，点型蒸镀源的坩埚内部往往温差较大（上热下冷），若材料填入量较多，材料无法达到一个热平衡稳定的状态，蒸镀速率无法稳定；提高温度，使材料热稳定，往往上面的材料又有裂解的风险。若材料填入量较少，在高蒸镀速率下，坩埚上部的温度往往超过材料的裂解温度，气化的材料在经过此段区域时容易裂解。

为解决此问题，目前主要使用导热小球，在往坩埚中填入有机材料时混入导热小球，通过导热小球的传热，使材料的温度均匀。但是此种方法只对升华型的材料有很好的效果，熔融型的材料由于在高温下熔融，导热小球由于与有机材料的密度不同，会渐渐的沉积于坩埚底部，无法很好的传热。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于，提供一种缩小内部温差，提高传热效率，使材料受热更均匀的镀膜机坩埚。

为了解决上述技术问题，本发明提供一种镀膜机坩埚，在坩埚内具有导热装置，导热装置包括一根或多根沿坩埚径向设置的径向金属丝或金属条，以及一根或多根沿坩埚轴向设置的轴向金属丝或金属条。

其中，径向金属丝或金属条与坩埚的主轴垂直或大致垂直，轴向金属丝或金属条与坩埚的主轴平行或大致平行。

其中，多根径向金属丝或金属条在坩埚的径向平面内形成由至少两个多边形组成的平面蜂窝状结构。

其中，平面蜂窝状结构沿坩埚的轴向至少设置两层，多根轴向金属丝或金属条分别连接在相邻两层平面蜂窝状结构中多边形各边对应的交点之间，形成立体蜂窝状结构。

其中，径向金属丝或者金属条通过编织或者焊接形成平面蜂窝状结构，轴向金属丝或者金属条通过编织或者焊接连接在相邻两层平面蜂窝状结构中多边形各边对应的交点之间，形成立体蜂窝状结构。

其中，导热装置内部孔隙的体积占导热装置总体积的百分率P满足：10%<P<99%。

其中，80%<P<95%。

其中，径向金属丝或金属条和轴向金属丝或金属条中的至少一根与坩埚的内壁相接触。

其中，多边形是五边形、六边形、八边形或者不规则边长的多边形。

其中，径向金属丝或金属条和轴向金属丝或金属条的材质为金属铝、铝合金、钛合金或铜合金。

本发明所提供的镀膜机坩埚，新增由金属丝或金属条形成的导热装置，可以更好的传热，使放入坩埚内的有机材料受热温度均匀，达到一个热稳定的状态。并且这种坩埚可以填入较多的材料，提高蒸镀速率，减少开腔填料次数，提高生产效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例镀膜机坩埚的立体结构示意图。

图2是本发明实施例镀膜机坩埚的俯视示意图。

图3是本发明实施例镀膜机坩埚的导热装置立体结构示意图。

图4是本发明实施例镀膜机坩埚的导热装置又一立体结构示意图。

图5是本发明实施例镀膜机坩埚装有立体蜂窝状结构导热装置的示意图。

具体实施方式

下面参考附图对本发明的优选实施例进行描述。