[发明专利]一种镀膜机坩埚

权利要求书

1.一种镀膜机坩埚（1），其特征在于，在所述坩埚（1）内具有导热装置（2），所述导热装置（2）包括一根或多根沿所述坩埚（1）径向设置的径向金属丝或金属条（21），以及一根或多根沿所述坩埚（1）轴向设置的轴向金属丝或金属条（22）。

2.根据权利要求1所述的镀膜机坩埚，其特征在于，所述径向金属丝或金属条（21）与所述坩埚1的主轴（10）垂直或大致垂直，所述轴向金属丝或金属条（22）与所述坩埚1的主轴（10）平行或大致平行。

3.根据权利要求2所述的镀膜机坩埚，其特征在于，所述多根径向金属丝或金属条（21）在所述坩埚（1）的径向平面内形成由至少两个多边形（3）组成的平面蜂窝状结构（4）。

4.根据权利要求3所述的镀膜机坩埚，其特征在于，所述平面蜂窝状结构（4）沿所述坩埚1的轴向至少设置两层，多根所述轴向金属丝或金属条22分别连接在相邻两层平面蜂窝状结构（4）中多边形（3）各边对应的交点之间，形成立体蜂窝状结构。

5.根据权利要求4所述的镀膜机坩埚，其特征在于，所述径向金属丝或者金属条（21）通过编织或者焊接形成平面蜂窝状结构（4），所述轴向金属丝或者金属条（22）通过编织或者焊接连接在所述相邻两层平面蜂窝状结构（4）中多边形（3）各边对应的交点之间，形成立体蜂窝状结构。

6.根据权利要求4所述的镀膜机坩埚，其特征在于，所述导热装置（2）内部孔隙的体积占所述导热装置（2）总体积的百分率P满足：10%<P<99%。

7.根据权利要求6所述的镀膜机坩埚，其特征在于，80%<P<95%。

8.根据权利要求1-7任一项所述的镀膜机坩埚，其特征在于，所述径向金属丝或金属条（21）和轴向金属丝或金属条（22）中的至少一根与所述坩埚（1）的内壁（11）相接触。

9.根据权利要求8所述的镀膜机坩埚，其特征在于，所述多边形（3）是五边形、六边形、八边形或者不规则边长的多边形。

10.根据权利要求8所述的镀膜机坩埚，其特征在于，所述径向金属丝或金属条（21）和轴向金属丝或金属条（22）的材质为金属铝、铝合金、钛合金或铜合金。