[发明专利]离线高透净色低辐射可钢镀膜玻璃及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201310352798.1 申请日: 2013-08-14
公开(公告)号: CN103396013A 公开(公告)日: 2013-11-20
发明(设计)人: 顾海波 申请(专利权)人: 江苏奥蓝工程玻璃有限公司
主分类号: C03C17/36 分类号: C03C17/36;B32B17/06
代理公司: 南京正联知识产权代理有限公司 32243 代理人: 顾伯兴
地址: 226001 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 离线 高透净色低 辐射 镀膜 玻璃 及其 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种可钢离线高透净色低辐射镀膜玻璃,包括玻璃基片,其特征在于:所述玻璃基片上依次设有第一氮化硅SiNx、第一氧化锌铝ZnAlOx、第一金属镍铬NiCr、金属银Ag、第二金属镍铬NiCr、第二氧化锌铝ZnAlOx、第二氮化硅SiNx,所述玻璃基片的厚度为3mm~15mm,所述第一氮化硅SiNx的厚度为37nm~45nm,所述第一氧化锌铝ZnAlOx的厚度为15nm~20nm,所述第一金属镍铬NiCr的厚度为1nm~5nm,所述金属银Ag的厚度为10nm~15nm,所述第二金属镍铬NiCr的厚度为1nm~5nm,所述第二氧化锌铝ZnAlOx的厚度为15nm~20nm,所述第二氮化硅SiNx的厚度为45nm~50nm。

2.根据权利要求1所述离线高透净色低辐射可钢镀膜玻璃,其特征在于:所述玻璃基片的厚度为6mm,所述第一氮化硅SiNx的厚度为45nm,所述第一氧化锌铝ZnOx的厚度为20nm,所述第一金属镍铬NiCr的厚度为1nm,所述金属银Ag的厚度为13nm,所述第二金属镍铬NiCr的厚度为1.5nm,所述第二氧化锌ZnOx的厚度为20nm,所述第二氮化硅SiNx的厚度为50nm。

3.一种离线高透净色低辐射可钢镀膜玻璃的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:

A:选择3~15mm玻璃基片,按预定尺寸切割成玻璃片,用清洗机对玻璃片进行清洗;

B:将高真空磁控溅射镀膜设备的基础真空设置为10?3Pa,线速度设置为3米/分钟;

C:将玻璃基片送入镀膜室,依次设置第一高真空磁控溅射镀膜设备的功率为95KW~105KW,在玻璃基片上溅射第一层37nm~45nm的第一氮化硅SiNx;

D:设置第二高真空磁控溅射镀膜设备的功率为18KW~25KW,在玻璃基片上溅射第二层15nm~20nm的第一氧化锌铝ZnAlOx;

E:设置第三高真空磁控溅射镀膜设备的功率为1KW~2KW,在玻璃基片上溅射第三层0.5nm~1.5nm的第一金属镍铬NiCr;

F:设置第四高真空磁控溅射镀膜设备的功率为2KW~2.7KW,在玻璃基片上溅射第四层13nm~15nm的金属银Ag;

G:设置第五高真空磁控溅射镀膜设备的功率为1KW~2KW,在玻璃基片上溅射第五层0.5nm~1.5nm的第二金属镍铬NiCr;

H:设置第六高真空磁控溅射镀膜设备的功率为18KW~25KW,在玻璃基片上溅射第六层15nm~20nm的第二氧化锌铝ZnAlOx;

I:设置第七高真空磁控溅射镀膜设备的功率为110KW~120KW,在玻璃基片上溅射第七层45nm~55nm的第二氮化硅SiNx。

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