[发明专利]一种用于对经过激光刻蚀清边后TCO基板玻璃的清洗工艺

权利要求书

1.一种用于对经过激光刻蚀清边后TCO基板玻璃的清洗工艺，其特征在于：本工艺是借助在TCO基板玻璃传送辊（9）上依次设置的预喷淋清洗腔室（1）、高压喷淋清洗腔室（2）、缓冲腔室（3）、二次喷淋清洗腔室（8）、漂洗腔室（4）及烘干腔室（5）实现的，所述的工艺步骤中包括：

A、预喷淋清洗：将预喷淋清洗腔室（1）控制在常温状态下，将去离子水作为清洗液、将在TCO基板玻璃传送辊上、下方90-110mm处分别设置的一组喷嘴组件作为清洗工具进行预喷淋，其中，每组喷嘴组件中包括18-25个扇形喷嘴，每个喷嘴在0.12-0.16Mpa压力下的流量为1-1.1 L/Min；

B、高压喷淋清洗：将高压喷淋清洗腔室（2）控制在常温状态下，以去离子水作为清洗剂、将在传送辊上方90-110mm处分别设置的一组喷嘴组件作为清洗工具进行喷淋清洗，其中，每组喷嘴组件中包括18-25个扇形喷嘴，每个喷嘴在2-3.5Mpa压力下的流量为1.81-2.37 L/Min；

C、沥水：将缓冲腔室控制在常温状态，借助传送辊将基板玻璃从缓冲腔室的入口送至出口，再此过程中，基板玻璃上残留的水分落至腔室底部以清除高压喷淋清洗后残留的水分；

D、二次喷淋清洗：将二次喷淋清洗腔室（8）控制在常温下，将去离子水作为喷淋液、将在传送辊上、下方90-110mm处分别设置的一组喷嘴组件作为清洗工具进行喷淋，其中，每组喷嘴组件中包括18-25个扇形喷嘴，每个喷嘴在0.3-0.4Mpa压力下的流量为1-1.15 L/Min；

E、漂洗：在漂洗腔室（4）中，将TCO基板玻璃上、下表面漂净；

F、烘干：在烘干腔室（5）中，将TCO基板玻璃上、下表面烘干，完成整个清洗工艺过程。

2.根据权利要求1所述的一种用于对经过激光刻蚀清边后TCO基板玻璃的清洗工艺，其特征在于：所述的二次喷淋清洗腔室（8）的数量为2个，依次设置于缓冲腔室（3）之后、漂洗腔室（4）之前。

3.根据权利要求1所述的一种用于对经过激光刻蚀清边后TCO基板玻璃的清洗工艺，其特征在于：所述的漂洗腔室（4）的数量为2个，依次设置于二次喷淋清洗腔室（8）之后、烘干腔室（5）之前，将漂洗腔室（4）控制在常温下，以去离子水作为漂洗剂、将经过再次喷淋工序后的TCO基板玻璃传送辊上、下方90-110mm处分别设置的一组喷嘴组件作为清洗工具进行漂洗，其中，每组喷嘴组件中包括15-20个、1/4寸口径的、喷射角度为90°的扇形喷嘴，每个喷嘴在0.12-0.16Mpa压力下的流量为1-1.15 L/Min。

4.根据权利要求1所述的一种用于对经过激光刻蚀清边后TCO基板玻璃的清洗工艺，其特征在于：所述的烘干腔室（5）的数量为2个，依次设置于漂洗腔室（4）之后，在此基础上，所述的烘干工序步骤中包括：

E1、一级风刀吹扫烘干：在第一烘干腔室（5-1）中进行，利用传送辊上、下方0-8mm处分别设置的一级风刀（7）进行烘干，其中，一级风刀（7）与TCO基板玻璃行进方向的夹角为60°-80°，吹出的风温度为25~50℃，风量为200~700m³ /h；

E2、二级风刀吹扫烘干：在第二烘干腔室（5-2）中进行，利用传送辊上、下方0-8mm处分别设置的二级风刀（6）进行烘干，其中，二级风刀（6）与TCO基板玻璃行进方向的夹角为60°-80°，吹出的风温度为25~80℃，风量为200~700m³ /h。

5.根据权利要求1、或3所述的一种用于对经过激光刻蚀清边后TCO基板玻璃的清洗工艺，其特征在于：所述的扇形喷嘴是材质为SUS303、口径为1/8寸、喷射角度为90°的扇形喷嘴。

6.根据权利要求4所述的一种用于对经过激光刻蚀清边后TCO基板玻璃的清洗工艺，其特征在于：所述的一级风刀（7）的供风系统结构中包括一级鼓风机（7-1）、及与一级鼓风机风力输出端连接的一级空气过滤器（7-2），一级空气过滤器（7-2）的输出端与一级风刀（7）的风力输入端连接。