[发明专利]一种单光束双工位大量程激光粒度测量装置

权利要求书

1.一种单光束双工位大量程激光粒度测量装置，包括一用于发射激光的激光器（1），激光器（1）的后端按照激光光路的前进方向依次设置有扩束镜（2）、傅里叶透镜（4）、用于改变激光光路方向的光学组件、光电探测器阵列（10），一样品窗（6），其特征在于，所述傅里叶透镜（4）和光学组件之间设有第一工位（12），所述光学组件和光电探测器阵列（10）之间设有第二工位（9），所述样品窗（6）在所述第一工位（12）和第二工位（9）之间相对移动。

2.根据权利要求1所述的一种单光束双工位大量程激光粒度测量装置，其特征在于，所述样品窗（6）、第一工位（12）和第二工位（9）均与激光光路主轴正交。

3.根据权利要求2所述的一种单光束双工位大量程激光粒度测量装置，其特征在于，第一工位(12)和第二工位(9)在同一直线上。

4.根据权利要求3所述的一种单光束双工位大量程激光粒度测量装置，其特征在于，设有与激光光路主轴正交的导轨(5)，样品窗(6)沿导轨(5)移动。

5.根据权利要求1-4任一权利要求所述的一种单光束双工位大量程激光粒度测量装置，其特征在于，所述光学组件由反射镜(7)和反射镜(8)构成，反射镜(7)和反射镜(8)的反光面相对垂直设置；或者，所述光学组件由直角棱镜(13)和直角棱镜(14)构成，直角棱镜(13)和直角棱镜(14)的反光斜面相对垂直设置。

6.根据权利要求1-4任一权利要求所述的一种单光束双工位大量程激光粒度测量装置，其特征在于，在光电探测器阵列(10)之后，沿激光光路前进方向还设置有保证光束两次测试都处于严格对中状态的对中系统(11)。

7.根据权利要求1-4任一权利要求所述的一种单光束双工位大量程激光粒度测量装置，其特征在于，在扩束镜(2)和傅里叶透镜(4)之间还设置有空间滤波器(3)。

8.根据权利要求5所述的一种单光束双工位大量程激光粒度测量装置，其特征在于，在扩束镜(2)和傅里叶透镜(4)之间还设置有空间滤波器(3)。

9.根据权利要求5所述的一种单光束双工位大量程激光粒度测量装置，其特征在于，在光电探测器阵列(10)之后，沿激光光路前进方向还设置有保证光束两次测试都处于严格对中状态的对中系统(11)。

10.根据权利要求5所述的一种单光束双工位大量程激光粒度测量装置，其特征在于，所述反射镜(7)和反射镜(8)，或者，直角棱镜(13)和直角棱镜(14)，可在激光主轴方向上移动。

11.根据权利要求6所述的一种单光束双工位大量程激光粒度测量装置，其特征在于，在扩束镜(2)和傅里叶透镜(4)之间还设置有空间滤波器(3)。

12.根据权利要求1-4任一权利要求所述的一种单光束双工位大量程激光粒度测量装置，其特征在于，所述样品窗(6)为中空石英流动池。